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Inductively-coupled plasma etching facility

Inductively-coupled plasma etching facility
感应耦合等离子蚀刻设备
批准号：
LE150100172
负责人：
Prof Benjamin Eggleton
金额：
$18.0万
依托单位：
The University of Sydney
依托单位国家：
澳大利亚
项目类别：
Linkage Infrastructure, Equipment and Facilities
财政年份：
2015
资助国家：
澳大利亚
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-01-01 至 2016-12-31
来源：
https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/LE150100172
关键词：
Inductivelycoupledplasmaetchingfacility

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Inductively-coupled plasma etching facility: The aim of this project is to bring together an inductively-coupled plasma etcher with a high resolution tool for optical lithography to create a facility capable of producing nano-structures in silicon surfaces. Such structures are the basis of high performance photonic, nano-electronic, and MicroElectroMechanical (MEM) devices. The lithography tool is a step-and-repeat system capable of exceptionally high rates of throughput so this etcher will be a crucial enabling tool for efficient fabrication of nano-devices for research into quantum computing, high bandwidth, quantum-secure optical communications, renewable energy, and for applications in medicine. The etcher will be available for national access.
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会议论文
Catching the fast waves: high speed RF sensing using Brillouin scattering
  • 批准号：
    DP220101431
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $34.5万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
Harnessing opto-acoustic interactions for on-chip optical isolation
  • 批准号：
    DP200101893
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $43.56万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
Brillouin processing for carrier recovery in optical communications
  • 批准号：
    DP190100992
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $25.92万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
Integration of broadband microwave photonic frequency convertors
  • 批准号：
    LP170100112
  • 项目类别：
    Linkage Projects
  • 资助金额：
    $37.79万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
国内基金
海外基金
G蛋白偶联受体GPR110调控Lp-PLA2抑制非酒精性脂肪性肝炎的作用及机制研究
  • 批准号：
    82370865
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    49.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    黄哲
  • 依托单位：
    上海交通大学
植物基因重组频率的遗传调控
VDAC1调控MITF信号通路影响黑色素生成的分子机制
  • 批准号：
    31900549
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    巩娟娟
  • 依托单位：
    首都医科大学
FoxM1与Wnt通路协同调控GPR4促卵巢癌增殖转移及血管生成的分子机制研究
  • 批准号：
    81772793
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    52.0万元
  • 批准年份：
    2017
  • 负责人：
    任娟
  • 依托单位：
    西安交通大学