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Fabrication and characterization of special process tunnel oxides

Fabrication and characterization of special process tunnel oxides
特殊工艺隧道氧化物的制造和表征
批准号：
193498-1996
负责人：
Landsberger, Leslie
金额：
$2.55万
依托单位：
Concordia University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
National Research Council / NSERC Research Partnership
财政年份：
1997
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
1997-01-01 至 1998-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=111108
关键词：
Fabricationcharacterizationspecialprocesstunnel

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Wet anisotropic etching of silicon -- mechanisms, and application to single-crystal silicon nanostructures
  • 批准号：
    121286-2005
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
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