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Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies

Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
涉及硅各向异性蚀刻的微系统制造：基础和应用研究
批准号：
121286-2001
负责人：
Landsberger, Leslie
金额：
$2.48万
依托单位：
Concordia University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2003
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2003-01-01 至 2004-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=252456
关键词：
Microsystemsfabricationinvolvinganisotropicetching

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Wet anisotropic etching of silicon -- mechanisms, and application to single-crystal silicon nanostructures
  • 批准号：
    121286-2005
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
国内基金
海外基金
Ni-20Cr合金梯度纳米结构的低温构筑及其腐蚀行为研究
  • 批准号：
    52301123
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    郭晓开
  • 依托单位：
    中山大学