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Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
涉及硅各向异性蚀刻的微系统制造：基础和应用研究
基本信息
- 批准号：121286-2001
- 负责人：
- 金额：$ 2.48万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：2001
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2001-01-01 至 2002-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Wet anisotropic etching of silicon -- mechanisms, and application to single-crystal silicon nanostructures
硅的湿法各向异性蚀刻——机理及其在单晶硅纳米结构中的应用
- 批准号：
121286-2005 - 财政年份：2005
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
涉及硅各向异性蚀刻的微系统制造：基础和应用研究
- 批准号：
121286-2001 - 财政年份：2004
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
涉及硅各向异性蚀刻的微系统制造：基础和应用研究
- 批准号：
121286-2001 - 财政年份：2003
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
涉及硅各向异性蚀刻的微系统制造：基础和应用研究
- 批准号：
121286-2001 - 财政年份：2002
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Anisotropic etching of silicon applied to microelectromechanical device processing and alternative processes for thin gate dielectrics
硅的各向异性蚀刻应用于微机电器件加工和薄栅极电介质的替代工艺
- 批准号：
121286-1997 - 财政年份：2000
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Anisotropic etching of silicon applied to microelectromechanical device processing and alternative processes for thin gate dielectrics
硅的各向异性蚀刻应用于微机电器件加工和薄栅极电介质的替代工艺
- 批准号：
121286-1997 - 财政年份：1999
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Anisotropic etching of silicon applied to microelectromechanical device processing and alternative processes for thin gate dielectrics
硅的各向异性蚀刻应用于微机电器件加工和薄栅极电介质的替代工艺
- 批准号：
121286-1997 - 财政年份：1998
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Fabrication and characterization of special process tunnel oxides
特殊工艺隧道氧化物的制造和表征
- 批准号：
193498-1996 - 财政年份：1997
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
National Research Council / NSERC Research Partnership
Anisotropic etching of silicon applied to microelectromechanical device processing and alternative processes for thin gate dielectrics
硅的各向异性蚀刻应用于微机电器件加工和薄栅极电介质的替代工艺
- 批准号：
121286-1997 - 财政年份：1997
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
Fabrication of silicon-based microelectromechanical devices
硅基微机电器件的制造
- 批准号：
121286-1995 - 财政年份：1996
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
相似国自然基金
Ni-20Cr合金梯度纳米结构的低温构筑及其腐蚀行为研究
- 批准号：52301123
- 批准年份：2023
- 资助金额：30.00 万元
- 项目类别：青年科学基金项目
相似海外基金
STTR Phase II: Fabrication and Structural Testing of a 3D Concrete Printed Anchor for Floating Offshore Wind
STTR 第二阶段：用于浮动海上风电的 3D 混凝土打印锚的制造和结构测试
- 批准号：
2333306 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Cooperative Agreement
Mem-Fast Membranes as Enablers for Future Biorefineries: from Fabrication to Advanced Separation Technologies
Mem-Fast 膜作为未来生物精炼的推动者：从制造到先进的分离技术
- 批准号：
EP/Y032004/1 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Research Grant
RII Track-4: NSF: Fabrication of Inversely Designed Nanophotonic Structures for Quantum Emitters
RII Track-4：NSF：用于量子发射器的逆向设计纳米光子结构的制造
- 批准号：
2327223 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Standard Grant
Gecko Inspired Autonomous Fabrication Of Programmable Two-dimensional Quantum Materials
壁虎启发可编程二维量子材料的自主制造
- 批准号：
EP/Y026284/1 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Research Grant
Development of High-performance 3D Printer for Stents Fabrication
开发用于支架制造的高性能 3D 打印机
- 批准号：
24K17184 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Fabrication of chiral plasmonic nanogaps by hot electron-induced metal growth for enhanced enantioselective light-matter interactions
通过热电子诱导金属生长制造手性等离子体纳米间隙以增强对映选择性光-物质相互作用
- 批准号：
23K23191 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
A Platform for Hierarchical Data-Driven Design, Fabrication, and Control of Modular Soft Robots with Slender Beams for Locomotion and Manipulation
用于具有细长梁的移动和操纵模块化软机器人的分层数据驱动设计、制造和控制平台
- 批准号：
23K26071 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
AcoustoFab: Contactless fabrication using acoustophoresis
AcoustoFab：使用声泳的非接触式制造
- 批准号：
EP/Y027825/1 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Research Grant
Fabrication of 5xxx/7xxx Crossover Alloys: T-Phase Precipitation to Achieve Hydrogen Embrittlement Resistance
5xxx/7xxx 交叉合金的制造：T 相沉淀以实现抗氢脆性
- 批准号：
23K04413 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Fabrication of metal-organic soft materials based on quantitative analysis of hierarchical structures
基于分级结构定量分析的金属有机软材料制备
- 批准号：
22KJ1784 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.48万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows