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Fabrication of silicon-based microelectromechanical devices

Fabrication of silicon-based microelectromechanical devices
硅基微机电器件的制造
批准号：
121286-1995
负责人：
Landsberger, Leslie
金额：
$0.9万
依托单位：
Concordia University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
1996
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
1996-01-01 至 1997-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=7116
关键词：
Fabricationsiliconbasedmicroelectromechanicaldevices

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Wet anisotropic etching of silicon -- mechanisms, and application to single-crystal silicon nanostructures
  • 批准号：
    121286-2005
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
Microsystems fabrication involving anisotropic etching of silicon: fundamental and applied studies
  • 批准号：
    121286-2001
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.48万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Landsberger, Leslie
  • 依托单位：
    Concordia University
国内基金
海外基金
用于强磁场的位置灵敏型探测器技术研究
基于有源微环谐振器的高速光学比特存储的机理与器件研究
  • 批准号：
    61006045
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    23.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    黄庆忠
  • 依托单位：
    华中科技大学
Silicon-Tethered 分子内 Corey-Chaykovsky 反应和 Tandem Heterocyclopropylolefin 环化反应研究
  • 批准号：
    20802044
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    18.0万元
  • 批准年份：
    2008
  • 负责人：
    宋振雷
  • 依托单位：
    四川大学
基于多孔硅键合氧化技术直接在绝缘体上制备无位错应变硅材料的研究
  • 批准号：
    60776018
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    34.0万元
  • 批准年份：
    2007
  • 负责人：
    张轩雄
  • 依托单位：
    上海理工大学