Fabrication of silicon-based microelectromechanical devices
硅基微机电器件的制造
基本信息
- 批准号:121286-1995
- 负责人:
- 金额:$ 0.9万
- 依托单位:
- 依托单位国家:加拿大
- 项目类别:Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份:1996
- 资助国家:加拿大
- 起止时间:1996-01-01 至 1997-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
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项目成果
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