课题基金 / 基金详情

Ion etching modeling of integrated circuits

Ion etching modeling of integrated circuits
集成电路的离子刻蚀建模
批准号：
447646-2013
负责人：
Smy, Tom
金额：
$1.68万
依托单位：
Carleton University
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Engage Grants Program
财政年份：
2013
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=536947
关键词：
Ionetchingmodelingintegratedcircuits

项目摘要

项目成果

Smy, Tom的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
This project will involve the development of a software tool for the simulation of the application of dry etching
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Multi-physics Simulation and Modelling of Metasurfaces for Communications and Sensor Applications from Device to System
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06315
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Smy, Tom
  • 依托单位：
    Carleton University
Multi-physics Simulation and Modelling of Metasurfaces for Communications and Sensor Applications from Device to System
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06315
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Smy, Tom
  • 依托单位：
    Carleton University
Multi-physics Simulation and Modelling of Metasurfaces for Communications and Sensor Applications from Device to System
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06315
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Smy, Tom
  • 依托单位：
    Carleton University
Multi-physics Simulation and Modelling of Metasurfaces for Communications and Sensor Applications from Device to System
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06315
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.04万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Smy, Tom
  • 依托单位：
    Carleton University
海外基金