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Next generation high sensitivity polymeric Extreme Ultraviolet (EUV) resists

Next generation high sensitivity polymeric Extreme Ultraviolet (EUV) resists
下一代高灵敏度聚合物极紫外线 (EUV) 光刻胶
批准号：
LP120100737
负责人：
Prof Andrew Whittaker
金额：
$25.83万
依托单位：
The University of Queensland
依托单位国家：
澳大利亚
项目类别：
Linkage Projects
财政年份：
2012
资助国家：
澳大利亚
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-11-14 至 2015-11-14
来源：
https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/LP120100737
关键词：
NextgenerationsensitivitypolymericExtreme

项目摘要

项目成果

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Each generation of computer we purchase has faster processors, larger memory and is smaller and cheaper than the preceding model. However the annual improvements are at risk due to inherent problems with existing technologies, so in this project we will produce technologies that will enable the next generation of energy-efficient, faster computers.
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会议论文
Innovative Double Patterning Strategies for Integrated Circuit Manufacture
  • 批准号：
    LP230100313
  • 项目类别：
    Linkage Projects
  • 资助金额：
    $56.12万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    Prof Andrew Whittaker
  • 依托单位：
    The University of Queensland
Novel Hybrid Nanotechnologies by Infiltration of Functional Polymers
  • 批准号：
    DP230101841
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $36.24万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    Prof Andrew Whittaker
  • 依托单位：
    The University of Queensland
Sulfoxide Polymers - A New Paradigm in Polymer Design
  • 批准号：
    DP210101496
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $33.14万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Prof Andrew Whittaker
  • 依托单位：
    The University of Queensland
Next-generation lithography: photo-directing assembly of block copolymers
  • 批准号：
    DP180101221
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $36.37万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Prof Andrew Whittaker
  • 依托单位：
    The University of Queensland
国内基金
海外基金
细胞周期蛋白依赖性激酶Cdk1介导卵母细胞第一极体重吸收致三倍体发生的调控机制研究
  • 批准号：
    82371660
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    49.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    魏喆
  • 依托单位：
    上海交通大学
Next Generation Majorana Nanowire Hybrids
二次谐波非线性光学显微成像用于前列腺癌的诊断及药物疗效初探
  • 批准号：
    30470495
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2004
  • 负责人：
    邓小元
  • 依托单位：
    华南师范大学