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Urgently Needed Reactive Sputtering Deposition System for Strategic Thin-Film Materials in Microsystems and to Replace a Non-Functional Evaporator

Urgently Needed Reactive Sputtering Deposition System for Strategic Thin-Film Materials in Microsystems and to Replace a Non-Functional Evaporator
微系统中战略薄膜材料急需的反应溅射沉积系统并取代无功能的蒸发器
批准号：
472787-2015
负责人：
Nabki, Frederic
金额：
$10.91万
依托单位：
Université du Québec à Montréal
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
财政年份：
2014
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-01-01 至 2015-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=564843
关键词：
UrgentlyNeededReactiveSputteringDeposition

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The goal of this proposal is to acquire a reactive sputtering system (RSS) to replace an old evaporator which is not functional and to enhance our thin-film deposition capabilities. This RSS will restore our ability to deposit metallic thin-films that are critical to our research activities and will open the door to the deposition of other strategic materials for the fabrication of novel microsystems with applications in integrated microwave devices, microelectromechanical systems, integrated photonics, microbatteries, and organic optoelectronics.
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Wireless Microsystems for Augmented Machine and Human Intelligence
  • 批准号：
    RGPIN-2022-04228
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $4.66万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Nabki, Frederic
  • 依托单位：
    École de technologie supérieure
Compact and Energy Efficient Wireless Microelectromechanical Sensing Systems
  • 批准号：
    RGPIN-2016-04871
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.26万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Nabki, Frederic
  • 依托单位：
    École de technologie supérieure
Compact non-invasive ultrasonic flow and wind speed sensors based on micromachined ultrasonic transducers compatible with above-IC integration
  • 批准号：
    543712-2019
  • 项目类别：
    Collaborative Research and Development Grants
  • 资助金额：
    $8.8万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Nabki, Frederic
  • 依托单位：
    École de technologie supérieure
Compact and Energy Efficient Wireless Microelectromechanical Sensing Systems
  • 批准号：
    RGPIN-2016-04871
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.26万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Nabki, Frederic
  • 依托单位：
    École de technologie supérieure
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