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Precision Motion Stages for Enhancing the Performance of Lithography in Semiconductor Manufacturing

Precision Motion Stages for Enhancing the Performance of Lithography in Semiconductor Manufacturing
用于增强半导体制造中光刻性能的精密运动平台
批准号：
RGPIN-2018-04704
负责人：
AlJanaideh, Mohammad
金额：
$2.33万
依托单位：
Memorial University of Newfoundland
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Discovery Grants Program - Individual
财政年份：
2021
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-01-01 至 2022-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=735932
关键词：
PrecisionMotionStagesEnhancingPerformance

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Control; Manufacturing; Mechatronics
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Precision Motion Stages for Enhancing the Performance of Lithography in Semiconductor Manufacturing
  • 批准号：
    RGPIN-2018-04704
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $2.33万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AlJanaideh, Mohammad
  • 依托单位：
    Memorial University of Newfoundland
A Dual-Arm Wafer Robot Handler for Precision Mechatronics and MEMS Characterizations
  • 批准号：
    RTI-2023-00186
  • 项目类别：
    Research Tools and Instruments
  • 资助金额：
    $10.89万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    AlJanaideh, Mohammad
  • 依托单位：
    Memorial University of Newfoundland
Development of Electromagnetic Reluctance Motion Actuator for Scanning and Advanced Manufacturing Applications for Industry 4.0
  • 批准号：
    571224-2022
  • 项目类别：
    Idea to Innovation
  • 资助金额：
    $1.46万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    AlJanaideh, Mohammad
  • 依托单位：
    Memorial University of Newfoundland
Multi-Axis Laser Interferometer for Position Measurements and Motion Feedback Control
  • 批准号：
    RTI-2021-00256
  • 项目类别：
    Research Tools and Instruments
  • 资助金额：
    $10.83万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    AlJanaideh, Mohammad
  • 依托单位：
    Memorial University of Newfoundland
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