Dual-Beam-FIB

“Wissenschaftliche Zielsetzung des Zentralinstituts für Neue Materialien und Prozesstechnik（ZMP）ist es，in einem interdisziplinären Umfeld neue Leichtbauwerkstoffkonzepte und Fertigungsmethoden zu entwickeln.大部分都是金属、陶瓷和柯伦斯托夫，以及前体中的动词。在这一时期，国际合作组织将推出新的创新性产品和服务。Für eine gezielte Werkstoff- und Prozesstechnikentwicklung ist dabei eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur-Eigenschaftsbeziehung notwendig.努尔使微结构的细节、三维结构的独特性和通过工艺过程实现的精确性变得更加复杂，使工件的（机械）特征更加明确，并在新的纳米技术中得到进一步发展。在这方面，双光束聚焦长光束（FIB）是一种用于微结构特性和结构设计的基本工具。Das Dual-Beam-FIB trägt dabei entscheidend zur Lösung der Problemstellungen der einzelnen Partner des ZMP bei and verspricht einen überproportional großen Erkenntnisgewinn. Der methodische Anchorist die Verwendung des Dual-Beam-FIB für die mikrostrukturelle Charakterisierung von gradierten Werkstoffsystemen，（Nano-）Compositen，Beschichtungen，zur Zielpreparation von transmissionselektronenmikroscopischen Proben，zur 3D-Materialanalysis durch in situ Untersuchung von FIB-präparierten Querschnitten und Schnitten in die Tiefe des Materials and zum Nanomachining im hochenergetischen Ionenstrahl.“

„Wissenschaftliche Zielsetzung des Zentralinstituts für Neue Materialien und Prozesstechnik (ZMP) ist es, in einem interdisziplinären Umfeld neue Leichtbauwerkstoffkonzepte und Fertigungsmethoden zu entwickeln. Dabei stehen Metalle, Keramik und Kohlenstoff und deren Verbunde im Vordergrund. Durch die interdisziplinäre Zusammenarbeit werden neue innovative Werkstoff- und Verarbeitungskonzepte erarbeitet. Für eine gezielte Werkstoff- und Prozesstechnikentwicklung ist dabei eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur-Eigenschaftsbeziehung notwendig. Nur über eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur, einschließlich des dreidimensionalen Aufbaus und ihrer Veränderungen durch die einzelnen Prozessschritte ist es möglich, gezielt die (mechanischen) Eigenschaften der Werkstoffe zu verbessern und neue auch unter Ausnutzung neuer nanotechnologischer Ansätze zu entwickeln. In diesem Zusammenhang stellt das Dual-Beam Focused-lon-Beam(FIB) ein elementares Werkzeug für mikroskopische Charakterisierungs- und Strukturierungsaufgaben dar. Das Dual-Beam-FIB trägt dabei entscheidend zur Lösung der Problemstellungen der einzelnen Partner des ZMPs bei und verspricht einen überproportional großen Erkenntnisgewinn. Der methodische Ansatz ist die Verwendung des Dual-Beam-FIB für die mikrostrukturelle Charakterisierung von gradierten Werkstoffsystemen, (Nano-)Kompositen, Beschichtungen, zur Zielpräparation von transmissionselektronenmikroskopischen Proben, zur 3D-Materialanalyse durch in situ Untersuchung von FIB-präparierten Querschnitten und Schnitten in die Tiefe des Materials und zum Nanomachining im hochenergetischen Ionenstrahl.“