Dreidimensionale elektrische Antastung für die Mikro- und Nanokoordinatenmesstechnik - 3-D-Tunnelstromtaster

MIT Mikrostrukturen and Komponenten MIT Mikrostrukturen erfordert Nano-aufelöste 3-D-Fähige Messverfahren.最好的系统和最好的系统。Mikrotaktil Verfahren Weisen Defizite be AuflöSong，Messgeschwindigkeit and Tastersteifigkeit auf.Zil des Forschungsvorhabens is ein Universal ell einsetzbares，aktives Messsystem MIT 3-Rich TungsSensitiem and berührungsfreiem An品verhalten Be subNano-AuflöSong，Wechselwirkung im NahFeldbereich arbeitet.De Bstimmung des 3-D-Antatavektors ist für Freiformscans and eine aktive Sensornachführung erforderlich and soll Mittels Machischer调制erfolgen.从系统动力学的角度来看，这是一件非常重要的事情。从数学到物理的数学模型和最大的实验系统分析语言都得到了很好的应用。从今天起，我们将继续努力，使我们的生活更美好。这是一种特殊的生活方式，也是一种生活方式。这是一项关于纳米技术的实验和一项关于纳米技术的演示。

Die messtechnische Erfassung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Komponenten mit Mikrostrukturen erfordert Nanometer-aufgelöste 3-D-fähige Messverfahren. Optische Systeme zeigen beugungsbedingt und bei hohen Aspektverhältnissen Einschränkungen. Mikrotaktile Verfahren weisen Defizite bei Auflösung, Messgeschwindigkeit und Tastersteifigkeit auf. Ziel des Forschungsvorhabens ist ein universell einsetzbares, aktives Messsystem mit 3-D-richtungssensitivem und berührungsfreiem Antastverhalten bei Subnanometer-Auflösung, welches mit elektrischer Wechselwirkung im Nahfeldbereich arbeitet. Die Bestimmung des 3-D-Antastvektors ist für Freiformscans und eine aktive Sensornachführung erforderlich und soll mittels mechanischer Modulation erfolgen. Die aktive Sensornachführung dient zur Steigerung der Systemdynamik. Das fundierte Verständnis der Wechselwirkung und der erfassten elektrischen Oberfläche soll durch mathematisch-physikalische Modellierung und über eine simulationsgestützte experimentelle Systemanalyse erlangt werden. Eine antastrichtungsabhängige Formabweichungskorrektur der sphärischen Sonden soll zur Erhöhung der Genauigkeit bei den miniaturisierten Sonden dienen. Modellunterstützt erfolgen eine messtechnische Charakterisierung und eine Unsicherheitsermittlung. Experimentelle Vergleiche mit anderen Antastverfahren der Mikro- und Nanomesstechnik an Demonstratorbauteilen sollen die erzielten Ergebnisse verifizieren.