Atomare Prozesse beim homoepitaktischen Schichtwachstum unter extremen Nichtgleichgewichtsbedingungen

我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼，我是拉赫曼。as Hauptziel des Forschungsprogrammes ist es dabei, in Verständnis der Kinetik des homoepitaktischen Schichtwachstums under extremen nichtleichgewichtsbedingungen auf Basis atomarer Prozesse zu erzielen。求解极值nichtleichgewictsbedingungen，并在沉积过程中求解，在基材温度下求解，在超热能量下求解。在solchen wachstsbedinggen的帮助下，这种定性新闻Phänomene出现了。在此基础上，我们研究了<s:1>原子力学理论研究<e:2> läßt。在此基础上，我们研究了<s:1>原子力学理论研究läßt。wachststssituationen extremely weg from gleichgewhicht和insbesonere under industriellen Beschichtungsbedingungen ofanzutreffen （hohe Abscheideraten, Abscheidung under Einfluß zusätzlicher energy）。在德国的工厂，工厂和工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂，工厂。

Im Rahmen des hier vorgeschlagenen Forschungsprogramms sollen bisher ungelöste Fragen im Verständnis des homoepitaktischen Wachstums von Metallen untersucht werden. Das Hauptziel des Forschungsprogrammes ist es dabei, ein Verständnis der Kinetik des homoepitaktischen Schichtwachstums unter extremen Nichtgleichgewichtsbedingungen auf Basis atomarer Prozesse zu erzielen. Solche extremen Nichtgleichgewichtsbedingungen sind beispielsweise sehr hohe Depositionsraten, sehr tiefe Substrattemperaturen oder Wachstum unter Zufuhr von Teilchen hyperthermischer Energie. Unter solchen Wachstumsbedingungen lassen sich qualitativ neue Phänomene erwarten. Aus der Entschlüsselung solcher Phänomene auf Basis der atomaren Wachstumsprozesse läßt sich ein vertieftes Verständnis der theoretischen Konzepte zur Beschreibung des Schichtwachstums gewinnen. Wachstumssituationen extrem weit weg vom Gleichgewicht sind insbesondere unter industriellen Beschichtungsbedingungen oft anzutreffen (hohe Abscheideraten, Abscheidung unter Einfluß zusätzlicher Energie). Daher kann von dem geplanten Forschungsvorhaben auch ein Beitrag zum Verständnis grundlegender Aspekte technischer Beschichtungsprozesse erhofft werden.