Entwicklung monolithisch integrierter applikationsspezifischer Lab-on-Microchips (ALMs)

ZIIL DES Forschungsvorhabens ist die Entwickung von BasistTech Technologien für Monolithisch整体应用规范微芯片实验室(ALMS)für化学和生物化学Anwendungen。这是一种新的技术和动态的统计系统。BEI DEM硅芯片手持器是一种专用集成电路(ASIC)，它是一种新型的、高性能的集成电路。Das mikrofluidische系统将在Einem ASIC-kompatiblen Prozess auf base Einem-ASIC-Kompatiblen Prozess auf base Einem-ASIC-Kompatiblen Prozess auf基础上看到聚合物在Verfahren auffahren aufgebrachten glasdeckel abgeschlossen等基础上的聚合物。新技术的功能和手看到了示威者Zur Wasseranalys aufgezeigt，Welcher Kleiner ALS 1 cm2和Be Massenfertigung Nur unwesentlich teureer ALS ein ASIC Gleicher Gröçe Sin Soll。Dieser演示器将在微芯片上进行典型的微芯片实验室测试，包括Eine Electrktrokinetsche Pumpe、Einen Mischer、Einen Durchflussmesser、Eine Thermostisierungsstrecke和Eine Elektrophy resrecke。这是一种基本的技术，它不存在于任何形式的技术中。

Ziel des Forschungsvorhabens ist die Entwicklung von Basistechnologien für monolithisch integrierte applikationsspezifische Lab-on-Microchips (ALMs) für chemische und biochemische Anwendungen. Ein ALM besteht aus der Kombination eines klassischen Mikroelektronik-Chips in Siliciumtechnologie und einem dynamischen oder statischen mikrofluidischen System. Bei dem Siliciumchip handelt es sich um einen ASIC (Application Specific Integrated Circuit), welcher anwendungsspezifische elektronische Funktionen zur Steuerung und messtechnischen Auswertung der chemischen Prozesse im mikrofluidischen System enthält. Das mikrofluidische System wird in einem ASIC-kompatiblen Prozess auf Basis eines Polymers im Spin-on-Verfahren aufgebracht, fotolithografisch strukturiert und durch einen - mit Hilfe eines plasmaunterstützten Bondvorgangs - auf der Polymerschicht aufgebrachten Glasdeckel abgeschlossen. Die Funktionsfähigkeit der neuen Technologie wird anhand eines Demonstrators zur Wasseranalyse aufgezeigt, welcher kleiner als 1 cm2 und bei Massenfertigung nur unwesentlich teurer als ein ASIC gleicher Größe sein soll. Dieser Demonstrator wird die wichtigsten funktionalen Komponenten eines typischen Lab-on-Microchips enthalten, neben den Kanälen und Reservoirs eine elektrokinetische Pumpe, einen Mischer, einen Durchflussmesser, eine Thermostatisierungsstrecke und eine Elektrophoresestrecke. Die entwickelten Basistechnologien sollen hinsichtlich ihrer Eignung für Einfach- und Mehrfachanwendung untersucht werden.