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Inductively-coupled plasma etching facility

Inductively-coupled plasma etching facility
感应耦合等离子蚀刻设备
批准号：
LE150100172
负责人：
Prof Benjamin Eggleton
金额：
$18.0万
依托单位：
The University of Sydney
依托单位国家：
澳大利亚
项目类别：
Linkage Infrastructure, Equipment and Facilities
财政年份：
2015
资助国家：
澳大利亚
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-01-01 至 2016-12-31
来源：
https://dataportal.arc.gov.au/RGS/Web/Grants/LE150100172
关键词：
Inductivelycoupledplasmaetchingfacility

项目摘要

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中文摘要
翻译
电感耦合等离子体蚀刻设备：该项目的目的是将电感耦合等离子体蚀刻机与高分辨率光学光刻工具结合在一起，以创建能够在硅表面生产纳米结构的设备。这种结构是高性能光子、纳米电子和微机电（MEM）器件的基础。光刻工具是一个步进重复系统，能够极高的吞吐率，因此该蚀刻机将是一个关键的使能工具，用于有效制造纳米器件，用于量子计算，高带宽，量子安全光通信，可再生能源和医学应用的研究。蚀刻机将供全国使用。
英文摘要
Inductively-coupled plasma etching facility: The aim of this project is to bring together an inductively-coupled plasma etcher with a high resolution tool for optical lithography to create a facility capable of producing nano-structures in silicon surfaces. Such structures are the basis of high performance photonic, nano-electronic, and MicroElectroMechanical (MEM) devices. The lithography tool is a step-and-repeat system capable of exceptionally high rates of throughput so this etcher will be a crucial enabling tool for efficient fabrication of nano-devices for research into quantum computing, high bandwidth, quantum-secure optical communications, renewable energy, and for applications in medicine. The etcher will be available for national access.
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会议论文
Catching the fast waves: high speed RF sensing using Brillouin scattering
  • 批准号：
    DP220101431
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $34.5万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
Harnessing opto-acoustic interactions for on-chip optical isolation
  • 批准号：
    DP200101893
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $43.56万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
Brillouin processing for carrier recovery in optical communications
  • 批准号：
    DP190100992
  • 项目类别：
    Discovery Projects
  • 资助金额：
    $25.92万
  • 财政年份：
    2019
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
Integration of broadband microwave photonic frequency convertors
  • 批准号：
    LP170100112
  • 项目类别：
    Linkage Projects
  • 资助金额：
    $37.79万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Prof Benjamin Eggleton
  • 依托单位：
    The University of Sydney
国内基金
海外基金
G蛋白偶联受体GPR110调控Lp-PLA2抑制非酒精性脂肪性肝炎的作用及机制研究
  • 批准号：
    82370865
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    49.00万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    黄哲
  • 依托单位：
    上海交通大学
植物基因重组频率的遗传调控
VDAC1调控MITF信号通路影响黑色素生成的分子机制
  • 批准号：
    31900549
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    巩娟娟
  • 依托单位：
    首都医科大学
FoxM1与Wnt通路协同调控GPR4促卵巢癌增殖转移及血管生成的分子机制研究
  • 批准号：
    81772793
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    52.0万元
  • 批准年份：
    2017
  • 负责人：
    任娟
  • 依托单位：
    西安交通大学