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Novel main group and transition metal precursors for atomic layer and chemical vapor deposition

Novel main group and transition metal precursors for atomic layer and chemical vapor deposition
用于原子层和化学气相沉积的新型主族和过渡金属前体
批准号：
445964-2012
负责人：
Song, Datong
金额：
$10.9万
依托单位：
University of Toronto
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Collaborative Research and Development Grants
财政年份：
2013
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-01-01 至 2014-12-31
来源：
https://www.nserc-crsng.gc.ca/ase-oro/Details-Detailles_eng.asp?id=536056
关键词：
Novelmaingrouptransitionmetal

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
由于传统的二氧化硅基电介质材料已不能满足现代微电子技术的要求，几种性能优良的过渡金属氧化物已被确定为下一代微电子材料。这项研究建议的一个方面是开发用于微电子和半导体制造的过渡金属氧化物薄膜的新的前体和沉积工艺。这项研究的第二个方面旨在开发新的(III/V族和混合族)分子前体和工艺，用于生产可用于光电子学的半导体。
英文摘要
As the conventional silica-based dielectric material cannot satisfy the requirement of modern microelectronics, several transition metal oxides with superior properties have been identified as the next generation dielectric materials for microelectronics. One aspect of this research proposal is concerned with the development of new precursors and processes for deposition of thin films of transition metal oxides used in microelectronics and semiconductor fabrication. The second aspect of this research is aimed to develop new (Group III/V and hybrid) molecular precursors and processes for the production of semiconductors that can be used in optoelectronics.
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会议论文
Organometallic chemistry and catalysis using 3d metals
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06576
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.5万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    Song, Datong
  • 依托单位：
    University of Toronto
Organometallic chemistry and catalysis using 3d metals
  • 批准号：
    RGPIN-2019-06576
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
  • 资助金额：
    $3.5万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Song, Datong
  • 依托单位：
    University of Toronto
New carbene complexes for catalytic reduction chemistry
  • 批准号：
    549121-2019
  • 项目类别：
    Alliance Grants
  • 资助金额：
    $2.19万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Song, Datong
  • 依托单位：
    University of Toronto
Highly active iron precatalyst for hydrosilylation of ketones and aldehydes using industrially viable silanes - Phase I
  • 批准号：
    566839-2021
  • 项目类别：
    Idea to Innovation
  • 资助金额：
    $9.11万
  • 财政年份：
    2021
  • 负责人：
    Song, Datong
  • 依托单位：
    University of Toronto
国内基金
海外基金
MFB（Main Fractured Bone）概念结合AO分型对桡骨远端骨折的临床诊疗研究
  • 批准号：
    2018JJ4093
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    许谭妙
  • 依托单位：
    株洲市人民医院