溅射参数对薄膜结构的影响-猫眼课题宝

溅射参数对薄膜结构的影响

批准号：

8000933

负责人：

C. Houska

金额：

$4.23万

依托单位：

Virginia Polytechnic Institute and State University

依托单位国家：

美国

项目类别：

Standard Grant

财政年份：

1980

资助国家：

美国

项目状态：

已结题

起止时间：

1980-05-15 至 1982-05-31

来源：

https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=8000933&HistoricalAwards=false

关键词：

Influence Sputtering Parameters Film Structure

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Acquisition of Thin Film Sputtering Equipment

批准号：

7811753
项目类别：

Standard Grant
资助金额：

$4.03万
财政年份：

1979
负责人：

C. Houska
依托单位：

Virginia Polytechnic Institute and State University

X-Ray Studies of the Behavior of Titanium and Molybdenum Films on Silicon Substrates

批准号：

7517201
项目类别：

Standard Grant
资助金额：

$16.07万
财政年份：

1976
负责人：

C. Houska
依托单位：

Virginia Polytechnic Institute and State University

Development of X-Ray Diffraction Techniques to Study Diffusion in Single Crystal and Polycrystalline Composites

批准号：

7302364
项目类别：

Standard Grant
资助金额：

$11.88万
财政年份：

1973
负责人：

C. Houska
依托单位：

Virginia Polytechnic Institute and State University

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