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Electron Beam Lithography of Protein Monolayer, Ultrathin Composite Resist Films
蛋白质单层、超薄复合抗蚀剂薄膜的电子束光刻
基本信息
- 批准号：8009745
- 负责人：
- 金额：$ 2.43万
- 依托单位：
- 依托单位国家：美国
- 项目类别：Standard Grant
- 财政年份：1980
- 资助国家：美国
- 起止时间：1980-09-01 至 1981-02-28
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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会议论文数量（0）
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Electron-beam lithography system
电子束光刻系统
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