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Engineering Research Equipment: Organometallic Vapor-Phase Epitaxy Reactor with Ultrahigh-Vacuum Interface and Sample Manipulator

Engineering Research Equipment: Organometallic Vapor-Phase Epitaxy Reactor with Ultrahigh-Vacuum Interface and Sample Manipulator
工程研究设备:具有超高真空接口和样品操作器的有机金属气相外延反应器
批准号:
9310583
负责人:
Robert Hicks
金额:
$4.91万
依托单位国家:
美国
项目类别:
Standard Grant
财政年份:
1993
资助国家:
美国
项目状态:
已结题
起止时间:
1993-07-01 至 1995-03-31

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
在砷化镓或硅等衬底上研究几种半导体(包括砷化镓和碲化镉)的有机金属气相外延(OMVPE)的设备正在升级。升级包括一个具有超高真空(UHV)接口的OMPVE反应器,以及一个用于现有UHV腔室的新机械手。这将使研究有机金属化合物在OMVPE工艺中实际发现的晶体表面上的表面反应成为可能。改进后的仪器将用于研究II-VI化合物的表面化学、半导体的异质外延和OMVPE反应动力学
英文摘要
Equipment for the study of organometallic vapor-phase epitaxy (OMVPE) of several semiconductors, including gallium arsenide and cadmium telluride, on such substrates as gallium arsenide or silicon, is being upgraded. The upgrade consists of an OMPVE reactor with an ultrahigh-vacuum (UHV) interface, and a new manipulator for the existing UHV chamber. This will enable the study of surface reactions of organometallic compounds on the crystal surfaces actually found in the OMVPE process. The improved apparatus will be used to study surface chemistry of II-VI compounds, heteroepitaxy of semiconductors, and OMVPE reaction kinetics.//
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会议论文
Distributions for Optical Design
  • 批准号:
    0908299
  • 项目类别:
    Standard Grant
  • 资助金额:
    $26.4万
  • 财政年份:
    2009
  • 负责人:
    Robert Hicks
  • 依托单位:
Micromirror Arrays for Imaging Sensors
  • 批准号:
    0413012
  • 项目类别:
    Continuing Grant
  • 资助金额:
    $34.0万
  • 财政年份:
    2004
  • 负责人:
    Robert Hicks
  • 依托单位:
Digital Lenses
  • 批准号:
    0211283
  • 项目类别:
    Standard Grant
  • 资助金额:
    $10.0万
  • 财政年份:
    2003
  • 负责人:
    Robert Hicks
  • 依托单位:
Nanoscience of Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Compound Semiconductors
国内基金
海外基金
Research on Quantum Field Theory without a Lagrangian Description
  • 批准号:
    24ZR1403900
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2024
  • 负责人:
    SATOSHI NAWATA
  • 依托单位:
Cell Research
Cell Research
Cell Research (细胞研究)