Neue Kalibrierstrategien für die fertigungsnahe Ermittlung mechanischer Eigenschaften von Mikrosystemen (MikroKal)

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Für hohe Ausbeuten bei der Fertigung von Mikrosystemen ist es notwendig, deren mechanische Funktionalität möglichst frühzeitig, noch vor der Montage des Gesamtsystems zu ermitteln. In den letzten Jahren sind eine Reihe von Messverfahren entwickelt worden, die geeignet sind, ortsaufgelöste mechanische Kenngrößen, wie Verformungs-, Verschiebungs- und Amplitudenfelder von MikroStrukturen zu erfassen. Diese Messmethoden sind erfolgreich im Labor demonstriert, die Umsetzung in das produktionstechnische Umfeld der Mikrofertigung erfolgte bisher jedoch nur punktuell. Ein Defizit besteht darin, dass, rückführbare Messwerte unter Verwendung geeigneter Kalibrierverfahren für die Ermittlung der mechanischen Eigenschaften der Mikrokomponenten noch nicht zur Verfügung stehen. Ziel des gemeinsamen Projektes zwischen dem IMTEK-MML und dem ITO ist es, diese Lücke zu schließen und auf der Basis sich ergänzender Kompetenz neue Strategien zu erforschen, die eine fertigungsnahe Kalibrierung sowie Bewertung der Messdaten ermöglichen und auf unterschiedliche Messmethoden anwendbar sind. Um dieses Ziel zu erreichen, sollen mikromechanische Prüfnormale entwickelt, modellgestützte Kalibriervorschriften und Bewertungsverfahren erstellt und Richtlinien für deren künftige Anwendung in der Fertigung erarbeitet werden.