Beiträge zur Erhöhung der Genauigkeit kohärent-optischer Messungen unter Berücksichtigung von Phasensingularitäten

In vielen kohärent-optischen eßtechniken wid das zu untersuchende object abgebildet。Die Abbildung eines kohärent beleuchteten Objektes fhrt naturgemäß zum Auftreten von subject - ktiven Speckles。德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国德国死Specklegroße tß西奇的军队Aufnahmeparameter是不是Apertur奥得河Bildweite variieren, wobei das Verandern der Specklegroße死Qualitat der Messung unterschiedlicher艺术和怀斯beeinflußt。Kleinere Speckles bedeuten prinzipiell eine größere laterale Auflösung and somit eine Verbesserung der Messung。Jedoch treten bei night volt aufgelösten斑点duch die Ausdehnung der sensorelmente Mittelungseffekte auf， die sich negative auf die Meßgenauigkeit auswirken。在vorangegangenen arbeen wurde untersucht welen的研究中。在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国，在德国。Desweiteren ist auch der Meßbereich abhängig von der Specklegröße。贝面外Messungen， eine Verkleinerung der Speckles . b . eine schnellere Dekorrelation和somit . eine Verschlechterung der Messung zur Folge。Um eine Präzisionsteigerung在干涉测量（interferometrischen Messungen zu erzielen）中，也不需要进行参数优化（die aufnah - parameter optimal）和模具优化（die Randbedingungen der jeweiligen Messung and zupassen）。在此基础上，提出了一种新的研究方法。Die Untersuchungen sollen . sowohl aufden Fall der Mittelung mehrerer Speckles，也每个aufden Fall vol aufgelöster Speckles beziehen。Insgesamt soll die Möglichkeit eine ganzheitlichen Optimierung der lateralen Auflösung, des Meßbereichs and der Phasenmeßfehler untersucht werden。

In vielen kohärent-optischen Meßtechniken wird das zu untersuchende Objekt abgebildet. Die Abbildung eines kohärent beleuchteten Objektes führt naturgemäß zum Auftreten von subjektiven Speckles. Hierbei spielt es keine Rolle, ob die Abbildung mit Hilfe eines Computers erzeugt wurde, wie es z.B. bei der modernen digitalen Holographie der Fall ist, oder ob ein klassisches Linsensystem verwendet wurde. Die Specklegröße läßt sich durch Aufnahmeparameter wie Apertur oder Bildweite variieren, wobei das Verändern der Specklegröße die Qualität der Messung in unterschiedlicher Art und Weise beeinflußt. Kleinere Speckles bedeuten prinzipiell eine größere laterale Auflösung und somit eine Verbesserung der Messung. Jedoch treten bei nicht voll aufgelösten Speckles durch die Ausdehnung der Sensorelemente Mittelungseffekte auf, die sich negativ auf die Meßgenauigkeit auswirken. In vorangegangenen Arbeiten wurde untersucht welchen Einfluß die Mittelung von mehreren Speckles pro Sensorelement auf die Modulation hat. Der Einfluß der Mittelung auf die gemessene Phase wurde in diesen Untersuchungen jedoch nicht berücksichtigt. Desweiteren ist auch der Meßbereich abhängig von der Specklegröße. Bei out-of-plane Messungen hat eine Verkleinerung der Speckles z.B. eine schnellere Dekorrelation und somit eine Verschlechterung der Messung zur Folge. Um eine Präzisionsteigerung in interferometrischen Messungen zu erzielen, ist es also notwendig, die Aufnahmeparameter optimal an die Randbedingungen der jeweiligen Messung anzupassen. Hierzu sind u.a. Grundlagenuntersuchungen zum Einfluß der Mittelung von Speckles auf die gemessenen Phasenwerte notwendig. Die Untersuchungen sollen sich sowohl auf den Fall der Mittelung mehrerer Speckles, als auch auf den Fall voll aufgelöster Speckles beziehen. Insgesamt soll die Möglichkeit eine ganzheitlichen Optimierung der lateralen Auflösung, des Meßbereichs und der Phasenmeßfehler untersucht werden.