Chromatic-confocal spectral interferometry for dynamic surface profiling

Die ständige Weiterentwicklung moderner Fertigungtechnologien，die zunehmende qualisierung von Produktionsabläufen und die fortschreitende Miniaturisierung der Fertigungskomponenten beduten eine eine Herausforderung für die eingesetzte Messtechnik. Gefragt sind optische Mestechniken，die möglichst schnell，robust und damit prozessfähig sowie hinreichend genau and auch bei schwach reflektierenden Proben einsetzbar sind.此外，还可以在小型化的信息系统框架上进行韦尔登，也可以在Z. B.我会把你的衣服洗干净。在该项目中，一个新的测量韦尔登，在色度学上，一个在物体上的光场的测量方法，利用分光的Z射线干涉测量技术来测量一个短波段的光场。Im Vergleich zu etablierten Verfahren zur Topografiemessung soll auf eine Referenzierung verzichtet韦尔登. Die chromatisch-konfokale Technik soll dazu eingesetzt韦尔登，um auch bei Verwendung eines hochaperturigen Objektivs sowohl einen Tiefenmessbereich als auch die für die konfokale Mikroskopie typische Tiefenauflösung zielen.新的混合型地形测量仪也可以通过同样的横向测量方法来测量。由于它是通过干涉测量获得的最高感光度，所以它的反射率也很高。

Die ständige Weiterentwicklung moderner Fertigungstechnologien, die zunehmende Rationalisierung von Produktionsabläufen und die fortschreitende Miniaturisierung der Fertigungskomponenten bedeuten eine enorme Herausforderung für die eingesetzte Messtechnik. Gefragt sind optische Messtechniken, die möglichst schnell, robust und damit prozessfähig sowie hinreichend genau und auch bei schwach reflektierenden Proben einsetzbar sind. Neben dem Wunsch nach kostengünstigen Lösungen werden auch hohe Forderungen an die Miniaturisierbarkeit des Messsystems gestellt, um auch schwer zugängliche Stellen wie z.B. Bohrungen vermessen zu können. In dem Projekt soll hierzu ein neuer Ansatz untersucht werden, der die chromatisch-konfokale Technik, die eine Längsaufspaltung von Foki im Objektraum ermöglicht, mit der Technik der spektralen Zweistrahl-lnterferometrie unter Verwendung einer breitbandigen Lichtquelle vereint. Im Vergleich zu etablierten Verfahren zur Topografiemessung soll hier auf eine mechanische Referenzierung verzichtet werden. Die chromatisch-konfokale Technik soll dazu eingesetzt werden, um auch bei Verwendung eines hochaperturigen Objektivs sowohl einen großen Tiefenmessbereich als auch die für die konfokale Mikroskopie typische Tiefenauflösung zu erzielen. Der neue hybride Ansatz zur Topografiemessung ermöglicht durch die hohe numerische Apertur der Abbildungsoptik auch eine hohe laterale Auflösung. Hervorzuheben ist ebenso die hohe fotometrische Sensitivität des Verfahrens durch den interferometrischen Ansatz, so dass auch schwach reflektierende Proben gut messbar sind.