Digitale Holografie mit adaptiver Wellenfrontformung zur hochauflösenden Untersuchung von 3D-Mikrostrukturen im tiefen UV-Bereich

Für die Untersuung von 3D-Mikrostrukturen is immer höhere or tsauflösungen verlang t.这是一种新的技术，它的生物活性为193 nm，这是一种新技术。我们所要解决的问题是，这一问题不是在材料的选择上，而是在技术上，在技术上是可行的。在DER Folge füHRT死于深紫外光技术(深紫外光)，死在Bereich der Forschung and Entwickronein Hinderis darstellen。在这一点上，我们并不是一成不变的，也不是最好的，而是最好的。在Verwendung einer Minimalen Anzahl Einfacher optischer Komponenten下，Zil des vorliegenden Antrags ist die Untersuung eines eines neuartigen Messkonzepts für die hochauflösende Messtechnik.Vorschlag greift auf Element in Enger Verknüpfung MIT einer angepassten Wellenrontformung zurück，um auch kleine Objekte ALS Träger Hoher or tsfassen en Digital erfassen zu kuönnen.

Für die Untersuchung von 3D-Mikrostrukturen werden immer höhere Ortsauflösungen verlangt. Dies gilt sowohl für technische als auch biologische Mikrostrukturen und führt in der augenblicklichen Entwicklung der optischen Metrologie zu immer kürzeren Wellenlängen bis zu derzeit 193nm. Das wesentliche Problem hierbei besteht in der abnehmenden Vielfalt der optischen Materialien in diesem Wellenlängenbereich, in den erhöhten Anforderung an die Oberflächenqualität der Optiken, sowie in dem drastisch steigenden Fertigungs- und Justageaufwand. In der Folge führt dies zu enormen Kosten der DUV-Technologie (deep ultra violet), die insbesondere im Bereich der Forschung und Entwicklung ein Hindernis darstellen. Andererseits bietet der deutlich unterschiedliche Wechselwirkungscharakter des DUV-Lichtes mit Mikrostrukturen, wie etwa die geringe Eindringtiefe und erhöhte Streuempfindlichkeit, neue Möglichkeiten in der optischen Messtechnik. Ziel des vorliegenden Antrags ist die Untersuchung eines neuartigen Messkonzepts für die hochauflösende Messtechnik unter Verwendung einer minimalen Anzahl einfacher optischer Komponenten. Der Vorschlag greift auf elementare Prinzipien der digitalen Holografie in enger Verknüpfung mit einer angepassten Wellenfrontformung zurück, um auch kleine Objekte als Träger hoher Ortsfrequenzen digital erfassen zu können.