Digitale Holografie mit adaptiver Wellenfrontformung zur hochauflösenden Untersuchung von 3D-Mikrostrukturen im tiefen UV-Bereich

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Für die Untersuchung von 3D-Mikrostrukturen werden immer höhere Ortsauflösungen verlangt. Dies gilt sowohl für technische als auch biologische Mikrostrukturen und führt in der augenblicklichen Entwicklung der optischen Metrologie zu immer kürzeren Wellenlängen bis zu derzeit 193nm. Das wesentliche Problem hierbei besteht in der abnehmenden Vielfalt der optischen Materialien in diesem Wellenlängenbereich, in den erhöhten Anforderung an die Oberflächenqualität der Optiken, sowie in dem drastisch steigenden Fertigungs- und Justageaufwand. In der Folge führt dies zu enormen Kosten der DUV-Technologie (deep ultra violet), die insbesondere im Bereich der Forschung und Entwicklung ein Hindernis darstellen. Andererseits bietet der deutlich unterschiedliche Wechselwirkungscharakter des DUV-Lichtes mit Mikrostrukturen, wie etwa die geringe Eindringtiefe und erhöhte Streuempfindlichkeit, neue Möglichkeiten in der optischen Messtechnik. Ziel des vorliegenden Antrags ist die Untersuchung eines neuartigen Messkonzepts für die hochauflösende Messtechnik unter Verwendung einer minimalen Anzahl einfacher optischer Komponenten. Der Vorschlag greift auf elementare Prinzipien der digitalen Holografie in enger Verknüpfung mit einer angepassten Wellenfrontformung zurück, um auch kleine Objekte als Träger hoher Ortsfrequenzen digital erfassen zu können.