Chemical etching of semiconductors assisted by graphene derivatives towords nano- and micro- fabrication.

石墨烯衍生物辅助的半导体化学蚀刻适用于纳米和微米制造。

基本信息

批准号：
20H02450
负责人：
Utsunomiya Toru
金额：
$ 11.48万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20H02450/
关键词：
酸化グラフェン半導体エッチングシリコン二次元材料

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（28）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

フッ硝酸を用いた酸化グラフェンアシストシリコンエッチング

使用氟硝酸的氧化石墨烯辅助硅蚀刻

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
上田恭介;上田隆統志;成島尚之;真部研吾;窪田航，島川紘，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
窪田航，島川紘，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

気相中酸化グラフェンアシストシリコンエッチング

氧化石墨烯辅助硅气相蚀刻

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
真部研吾;中野美紀;三宅晃司;則包恭央;小畠秀和，隼瀬俊介，後藤琢也，小澤俊平，白鳥英，杉岡健一;窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

遷移金属ダイカルコゲナイド援用シリコンエッチング

过渡金属二硫属化物辅助硅蚀刻

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
K. Morita;H. Yoshida;B.-N. Kim;中山将伸;山本快知，窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
山本快知，窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

電気化学剥離酸化グラフェンのLFM解析

电化学剥离氧化石墨烯的 LFM 分析

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
佐原亮二;K. Kohli;S. Kr. Bhattacharya;P. Ghosh;上田恭介;成島尚之;伯山流星，石黒涼太，清宮優作，小澤俊平;廣富祐二，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
廣富祐二，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

MoS2ナノシートを用いた気相中アシストシリコンエッチング

使用 MoS2 纳米片进行气相辅助硅蚀刻

DOI：
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
0
作者：
Moritz Kindelmann;Ke Ran;Wolfgang Rheinheimer;Martin Bram;Koji Morita;Olivier Guillon;幸塚駿佑，○上田純平，田部勢津久，中西貴之，武田隆史，廣崎尚登;Kazuho Murata and Masaru Aniya;中山将伸;山本快知，窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
山本快知，窪田航，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

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Utsunomiya Toru其他文献

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作者：
Tu Yudi;Utsunomiya Toru;Ichii Takashi;Sugimura Hiroyuki;屠宇迪，宇都宮徹，一井崇，杉村博之;Yudi Tu，Toru Utsunomiya，Takashi Ichii，Hiroyuki Sugimura;屠宇迪，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
屠宇迪，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

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DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
Tu Yudi;Utsunomiya Toru;Ichii Takashi;Sugimura Hiroyuki;屠宇迪，宇都宮徹，一井崇，杉村博之
通讯作者：
屠宇迪，宇都宮徹，一井崇，杉村博之

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DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yamada Yuya;Ichii Takashi;Utsunomiya Toru;Kimura Kuniko;Kobayashi Kei;Yamada Hirofumi;Sugimura Hiroyuki;Аяко Кадзи;吉田拓矢
通讯作者：
吉田拓矢

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以环硅氧烷为原料分子通过化学气相沉积制备的环烯烃聚合物对芳香族溶剂的保护层

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10.1016/j.tsf.2017.07.026
发表时间：
2017
期刊：
Thin Solid Films
影响因子：
2.1
作者：
Utsunomiya Toru;Kanzawa Taiki;Ichii Takashi;Sugimura Hiroyuki
通讯作者：
Sugimura Hiroyuki

Enhancing the Electrical Conductivity of VUV-reduced Graphene Oxide by Multilayered Stacking

通过多层堆叠增强真空紫外还原氧化石墨烯的导电性

DOI：
发表时间：
2016
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影响因子：
0
作者：
Tu Yudi;Utsunomiya Toru;Ichii Takashi;Sugimura Hiroyuki;屠宇迪，宇都宮徹，一井崇，杉村博之;Yudi Tu，Toru Utsunomiya，Takashi Ichii，Hiroyuki Sugimura
通讯作者：
Yudi Tu，Toru Utsunomiya，Takashi Ichii，Hiroyuki Sugimura