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FORMATION OF THREE-DIMENSIONAL SHAPES IN SEMICONDUCTOR SURFACES FOR FUNCTIONAL DEVICES THROUGH PHOTOCHEMICAL REACTION WITH ELECTROPHILIC FLUORINATION AGENTS
通过与亲电氟化剂的光化学反应在功能器件的半导体表面形成三维形状
基本信息
- 批准号：26289017
- 负责人：
- 金额：$ 10.57万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成
N-氟吡啶鎓盐光刻法在硅表面形成随机双织构
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：熊田 竜也;川合 健太郎;永井 隆文;足達 健二;有馬 健太;森田 瑞穂
- 通讯作者：森田 瑞穂
Mask-less formation of anti-reflecting inverted-pyramids to single-crystal Si solar cell by N-fluoropyridinium salts
N-氟吡啶盐无掩模形成减反射倒金字塔单晶硅太阳能电池
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kentaro Kawai;Tatsuya Kumada;Takabumi Nagai;Kenji Adachi;Kenta Arima and Mizuho Morita
- 通讯作者：Kenta Arima and Mizuho Morita
Development of Silicon Photo-Etching with N-Fluoropyridinium Salts
N-氟吡啶鎓盐硅光刻技术的发展
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Junichi Uchikoshi;Takabumi Nagai;Kenji Adachi;Kentaro Kawai;Kenta Arima and Mizuho Morita
- 通讯作者：Kenta Arima and Mizuho Morita
Texturing Low Reflecting Surface of Random Double Inverted Pyramids Using N-fluoropyridinium Salt
使用 N-氟吡啶鎓盐对随机双倒金字塔的低反射表面进行纹理化
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Tatsuya Kumada;Kentaro Kawai;Toshinori Hirano;Masaki Otani;Takabumi Nagai;Kenji Adachi;Kenta Arima;and Mizuho Morita
- 通讯作者：and Mizuho Morita
Photoetching method that provides improved silicon-on-insulator layer thickness uniformity in a defined area
光刻方法可在规定区域内改善绝缘体上硅层厚度的均匀性
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：2.3
- 作者：Yuki Miyata;Yasunori Nakamukai;Cassia Tiemi Azevedo;Miho Morita;Junichi Uchikoshi;Kentaro Kawai;Kenta Arima;Mizuho Morita
- 通讯作者：Mizuho Morita
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A STUDY OF TUNNEL ELECTRON INJECTION LIGHT-EMITTING DEVICES WITH A TWO-DIMENSIONAL QUANTUM STRUCTURE OF ULTRATHIN SILICON/SILICON DIOXIDE
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26630130 - 财政年份：2014
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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$ 10.57万 - 项目类别：
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- 批准号：
14350166 - 财政年份：2002
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
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13555007 - 财政年份：2001
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
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- 批准号：
10555009 - 财政年份：1998
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
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- 批准号：
10450123 - 财政年份：1998
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
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- 批准号：
04452166 - 财政年份：1992
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
A Development of Low-Temperature Silicon Oxidation Enhanced by Fluorine Catalysis
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- 批准号：
60850061 - 财政年份：1985
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
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- 批准号：
13J06908 - 财政年份：2013
- 资助金额：
$ 10.57万 - 项目类别：
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