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Development of digital etching of 2D layered materials using the inward plasma method

Development of digital etching of 2D layered materials using the inward plasma method
使用向内等离子体方法开发二维层状材料数字蚀刻
批准号:
15K13310
负责人:
Miyawaki Jun
金额:
$2.58万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份:
2015
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2015-04-01 至 2017-03-31

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二维原子薄膜材料单层剥离技术开发
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通讯作者: 安藤 淳
吸引型プラズマによる二次元層状物質の単層エッチング
使用抽吸等离子体对二维层状材料进行单层蚀刻
DOI: --
发表时间: 2015
期刊:
影响因子: --
作者: [久保 利隆, 宮脇 淳, 清水 哲夫, 新堀俊一郎, 高橋 賢, 安藤 淳]
通讯作者: 安藤 淳
共 18 条
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    海外基金