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Development of metal wiring process with low environmental load using high-density hydrogen radicals
利用高密度氢自由基开发环境负荷低的金属配线工艺
基本信息
- 批准号：18K18809
- 负责人：
- 金额：$ 3.99万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2018
- 资助国家：日本
- 起止时间：2018-06-29 至 2021-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（11）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
高圧水素プラズマ誘起ナノポーラス化銀表面のプラズモン特性評価
高压氢等离子体诱导的纳米多孔银表面的等离子体激元表征
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：関戸 拓郎;安東 卓洋;垣内 弘章;安武 潔;大参 宏昌
- 通讯作者：大参 宏昌
Copper dry etching using a high-pressure plasma with non-toxic gas
使用高压等离子体和无毒气体进行铜干法蚀刻
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Hiromasa Ohmi，Yoshiki Shirasu;Hiroaki Kakiuchi;Kiyoshi Yasutake
- 通讯作者：Kiyoshi Yasutake
Significant Improvement of Copper Dry Etching Property of a High-Pressure Hydrogen-Based Plasma by Nitrogen Gas Addition
添加氮气显着改善高压氢基等离子体的铜干蚀刻性能
- DOI：10.1021/acsomega.8b03163
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：4.1
- 作者：Hiromasa Ohmi;Jumpei Sato;Yoshiki Shirasu;Tatsuya Hirano;Hiroaki Kakiuchi;and Kiyoshi Yasutake
- 通讯作者：and Kiyoshi Yasutake
水素ベース高圧プラズマを用いた金属の化学加工法の開発
氢基高压等离子体金属化学处理方法的开发
- DOI：
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Murata Hiromasa;Nozawa Koki;Saitoh Noriyuki;Yoshizawa Noriko;Suemasu Takashi;Toko Kaoru;安東卓洋，白數佳紀，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
- 通讯作者：安東卓洋，白數佳紀，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
高密度水素プラズマ曝露による銀表面のナノポーラス化挙動の観察
通过暴露于高密度氢等离子体观察银表面的纳米孔行为
- DOI：
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：関戸 拓郎;安東 卓洋;垣内 弘章;安武 潔;大参 宏昌
- 通讯作者：大参 宏昌
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
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nanostructuring on semiconductor surface for optical management by high-pressure hydrogen plasma
半导体表面纳米结构用于高压氢等离子体光学管理
- 批准号：
20H02049 - 财政年份：2020
- 资助金额：
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- 项目类别：省市级项目
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- 批准号：
- 批准年份：2025
- 资助金额：0.0 万元
- 项目类别：省市级项目
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- 批准号：
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23K26007 - 财政年份：2024
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23K22620 - 财政年份：2024
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23K13234 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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- 批准号：
23H01312 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
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- 批准号：
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- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
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- 批准号：
18K18814 - 财政年份：2018
- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
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- 资助金额：
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利用固态离子交换法在玻璃基板上形成金属析出层的方法及其在精细电气布线中的应用
- 批准号：
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- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
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金属纳米粒子快速加热物理过程及激光直写微线路研究
- 批准号：
21360354 - 财政年份：2009
- 资助金额：
$ 3.99万 - 项目类别：
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