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硫黄圧制御分子線エピタキシー法による硫化亜鉛系多層構造と紫外半導体レーザの作製

硫压控制分子束外延法制备硫化锌多层结构及紫外半导体激光器

基本信息

批准号：
11750018
负责人：
市野邦男
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Tottori University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1999
资助国家：
日本
起止时间：
1999 至 2000
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-11750018/
关键词：
紫外半導体レーザ ZnS GaP MBE ZnMgS ZnCdS 量子井戸歪 deformation potential

项目摘要

本研究では、紫外半導体レーザへの応用を最終的な目的として、高品質な硫化亜鉛(ZnS)系多層構造を作製するための基礎技術、とくにこれまで検討が十分でなかったZnS系エピタキシャル成長層/燐化ガリウム(GaP)界面構造の最適化のための基礎研究をおこなった。結晶成長に用いる分子線エピタキシー装置において、これまでは成長前の基板の酸化膜除去等の処理を結晶成長チャンバーでおこなってきたが、本年度は基板の表面処理専用の真空チャンバーを導入し、原料、特に硫黄の残留雰囲気のない高真空中での処理を可能にした。その結果、まず反射高エネルギー電子線回折(RHEED)による観察から、630℃前後で酸化膜が除去されることがわかった。従来の成長チャンバーにおける熱処理では硫黄と基板表面のGaの反応により安定な硫化物層(Ga_2S_3)が形成され、RHEEDパターンの明確な変化を観測することが難しかった。また、このGa_2S_3層は欠陥生成の核となっていると考えられるのでこれが生成しないような処理手順を確立する必要があった。そのため、硫黄がない条件下で酸化膜除去をおこない、Ga液滴が生成しないようにP分子線照射をおこない、さらにZn分子線を供給してP-Zn結合の形成を促進することを試みた。このような熱処理を施したGaP基板を真空中で成長チャンバーに移動し、まず基本材料であるZnSの成長のおこなった。その結果、従来の成長室における熱処理の場合と比較して、結晶性の向上を得た。現在のところ、初期的結果が得られた段階ではあるが、P分子線、Zn分子線それぞれの照射により、その後に成長したZnSの結晶性が向上する効果が得られた。現在のところZnSの膜厚約1μmでX線ロッキングカーブの半値幅が約500秒である。これは、格子不整合の影響があるため、決して十分な値ではないが、今後、格子整合系混晶の作製、p型伝導制御のための基礎となる成果であると考えられる。

This study is aimed at the ultimate goal of UV semiconductor applications. It is aimed at the basic technology for manufacturing high-quality ZnS multilayer structures. It is aimed at the basic research on optimization of ZnS multilayer/GaP interface structures. Crystal growth is possible in the process of removing the acidified film on the substrate before growth, vacuum treatment for substrate surface treatment, introduction of raw materials, and treatment of sulfur residue in high vacuum. The results show that the reflection of high temperature electron line (RHEED) is observed, and the acid film is removed around 630℃. In the past, it was difficult to form a stable sulfide layer (Ga_2S_3) on the surface of sulfur substrate by heat treatment, and it was difficult to measure the specific change of RHEED layer. The Ga_2S_3 layer is required to form a core and to establish a processing sequence. Under the condition of sulfur and sulfur, the acidified film is removed, and the Ga droplets are formed. The heat treatment is applied to the GaP substrate and the growth of ZnS is carried out in vacuum. The results of heat treatment in the growth chamber are compared with those of crystallization. The results of the initial phase are as follows: Now the thickness of ZnS film is about 1μm. The half-width of X-ray film is about 500 seconds. The effect of lattice disconformity is very important. In the future, lattice disconformity is the basis of mixed crystal system and p-type conduction control.