Fabrication of Electron Source with Electron-Wave Interference by Nano Beam Induced Deposition Process

纳米束诱导沉积电子波干涉电子源的制作

基本信息

  • 批准号:
    19206008
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 28.95万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 财政年份:
    2007
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2007 至 2010
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

1. ナノビーム誘起堆積プロセスによるナノ間隙電子源の作製これまでの研究で明らかにした最適なプロセスパラメータを用いて、プラチナナノ間隙電子源を作製した。このとき、エミッタの先端部分がナノ間隙となった電子の隣接放出サイトを形成した。電子源の作製と2.のパターンの観察とを繰り返して、コヒーレンスの良い電子線が得られる電子源の作製が可能となった。2. ナノ間隙電子源から放出される電子線パターンの観察ナノ間隙電子源から放出される電子線の放射パターンを観測し、電子線の干渉縞を制御するための研究を行った。電子源からの放出電子の干渉性を大きくするために、エミッタのプロセス温度の最適化を行った。また、エミッタ材料の結晶性や不純物分布などがエミッション特性に与える影響についても検討した。室温でのエミッションの閾値の評価と、エミッションパターンの観測を行う他に、研究期間内に完成させた装置によりエミッタをヘリウム温度程度に冷却し、その時のフィールドエミッションパターンとフィールドイオンマイクロスコピーの評価を行い、ナノ間隙の電子放出サイトの特定とプロセス条件や先端形状が、干渉縞に与える影響を明らかにした。3. 電子のコヒーレンス長と可干渉これまで得られた堆積プラチナ層の電子のコヒーレンス長と、プラチナエミッターより激出された電子の干渉縞の関係を明らかにした。さらに、室温でコヒーレンスの良い電子線を安定に得るためのエミッタ作製条件を決定した。また、このエミッタを用いたゲート付き電子源を作成することが出来、素子応用への可能性を検討した。
1. This is the most important thing to know that the gap power source is used as a source of electricity. There is a gap at the front end of the transmission line, and there is a gap between the two ends of the bridge. The operation of the computer source is not available. It is necessary to check that the power supply may be damaged if the cable is in good condition and the cable is in good condition. two。 The gap electron source is used to monitor the gap electron source, to emit the power line, to emit the power line, to control the research line. The temperature of the electricity source is the most sensitive to the temperature of the generator. The properties of the materials are not affected by the distribution of crystals. The properties of the materials are different from those of the materials. The temperature of the equipment should be completed during the period of the study. the temperature of the equipment should be cooled during the period of the study. the temperature of the equipment should be cooled during the period of the study. the temperature should be cooled in the temperature range. The gap generator emits the shape of the end of the device, the shape of the end, and the effect of the gap electrons on the specific parameters. 3. The electrical equipment can be used for long periods of time, but it can be used for a long time. Temperature, room temperature temperature, temperature, The power supply is made out of the electric power source of the telephone, and the possibility of the material is used to generate electricity.

项目成果

期刊论文数量(42)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Observation of electron wave interference pattern from Pt field emitter fabricated by beam-induced deposition
束诱导沉积 Pt 场发射体电子波干涉图的观察
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Murakami;T.Matsuo;F.Wakaya;M.Takai
  • 通讯作者:
    M.Takai
ransmission-electron-microscope observation of Pt pillar fabricated by electron-beam-induced deposition
电子束诱导沉积制备的 Pt 柱的透射电子显微镜观察
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Murakami;N.Matsubara;S.Ichikawa;T.Nakayama;K.Takamoto F.Wakaya;M.Takai;S.Petersen;H.Ryssel
  • 通讯作者:
    H.Ryssel
Three dimensional measurement of nano structures by single event TOF-RBS with nuclear nano probe
核纳米探针单粒子 TOF-RBS 纳米结构三维测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Satoshi Abo;Shunya Kumano;Takayuki Azuma;Ryota Sugimoto;Katsuhisa Murakami;Fujio Wakaya;Mikio Takai
  • 通讯作者:
    Mikio Takai
Electron wave interference induced by electrons emitted from Pt field emitter fabricated by focused-ion-beam-induced deposition
聚焦离子束诱导沉积制备的 Pt 场发射体发射电子引起的电子波干涉
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Murakami;T.Matsuo;F.Wakaya;M.Takai
  • 通讯作者:
    M.Takai
Observation of Fringelike Electron Emission Pattern From Radical Oxygen-Gas Exposed Pt Field Emitter Fabricated by Electron-Beam-Induced Deposition
电子束诱导沉积制备的暴露于自由基氧气-气体的 Pt 场发射体的条纹状电子发射图案的观察
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Murakami;S.Nishihara;N.Matsubara;S.Abo;F.Wakaya;M.Takai
  • 通讯作者:
    M.Takai
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Electron emission from pyroelectric crystal excited by laser light and its miniature X-ray source application
激光激发热释电晶体电子发射及其微型X射线源应用
  • 批准号:
    23360022
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 28.95万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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    12135205
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    2000
  • 资助金额:
    $ 28.95万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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    12135101
  • 财政年份:
    2000
  • 资助金额:
    $ 28.95万
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    11694157
  • 财政年份:
    1999
  • 资助金额:
    $ 28.95万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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    10450138
  • 财政年份:
    1998
  • 资助金额:
    $ 28.95万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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三维纳米分析技术的发展
  • 批准号:
    08044148
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    $ 28.95万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for international Scientific Research
Fabrication of Nanometer Structure and Its Application
纳米结构的制备及其应用
  • 批准号:
    06044139
  • 财政年份:
    1994
  • 资助金额:
    $ 28.95万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Overseas Scientific Survey.
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纳米离子束加工技术的发展
  • 批准号:
    02044092
  • 财政年份:
    1990
  • 资助金额:
    $ 28.95万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for international Scientific Research
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