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A Newly Developed of Advanced Nano-pattern Generator with Large Work Area (ANGEL) and Investigation on the Nano-machinability
新开发的大工作区先进纳米图案发生器（ANGEL）及其纳米可加工性研究
基本信息
- 批准号：19206017
- 负责人：
- 金额：$ 31.03万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2007
- 资助国家：日本
- 起止时间：2007 至 2008
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
本研究では先端科学技術分野で重要となる広領域を対象とする超精密加工を実現するため,広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) と称する超精密加工システムの開発を行なっている.システムを構成する機構部,センサ部,制御部などの各構成要素は,理想的な構造を実現するために新たに開発したものである.開発した加工システムの性能評価を行なった結果,加工対象表面に所要のナノメートルオーダの微細加工を実現可能であることを確認している.
This research is an important field in advanced science and technology. It is aimed at the development of ultra-precision machining. The structure of the system, the structure of the system. As a result of the performance evaluation of the development process, it is possible to realize the micromachining of the desired surface of the object.
项目成果
期刊论文数量（42）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
マイクロ温度センサを用いた超精密切削加工の適応制御
使用微型温度传感器的超精密切割自适应控制
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Miyake;K. Nakahara;K. Shimomura;P. Strasser;N. Kawamura;A. Koda;S. Makimura;H. Fujimori;K. Nishiyama;Y. Matsuda;P. Bakule;T. Adachi;T. Ogitsu;吉岡勇人
- 通讯作者：吉岡勇人
Vertical Nano-Positioning System with Gravity Compensator
带重力补偿器的垂直纳米定位系统
- DOI：
- 发表时间：2007
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Motohiro TAKAHASHI;Hayato YOSHIOKA;Hidenori SHINNO
- 通讯作者：Hidenori SHINNO
An Adaptive Control of Ultraprecision Machining with an In-Process Micro-Sensor
使用过程中微传感器进行超精密加工的自适应控制
- DOI：
- 发表时间：2008
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：M. Hayashi;H. Yoshioka;H. Shnno
- 通讯作者：H. Shnno
"1 ナノメートル分解能持つ切削加工機開発東工大完全非接触の機械構造",p.14,科学技術・大学欄,日刊工業新聞 朝刊,2008年11月24 日
“东京工业大学开发出1纳米分辨率和完全非接触式机械结构的切割机”，第14页，科学技术/大学专栏，日刊工业新闻早间版，2008年11月24日
- DOI：
- 发表时间：
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
- 通讯作者：
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新开发的紧凑型三维轮廓测量系统“Compact Nano-Profiler”
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- 资助金额：
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08555033 - 财政年份：1996
- 资助金额：
$ 31.03万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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05452133 - 财政年份：1993
- 资助金额：
$ 31.03万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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63550098 - 财政年份：1988
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- 批准号：
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- 资助金额：
$ 31.03万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
新規ナノ加工法による、付着細胞増殖の至適条件確立-素材表面と細胞形質の関連性より
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$ 31.03万 - 项目类别：
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ペロブスカイトのナノ加工・再結晶化法を用いたオンチップレーザアレイ
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- 批准号：
21J11825 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 31.03万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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- 批准号：
15J07429 - 财政年份：2015
- 资助金额：
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- 资助金额：
$ 31.03万 - 项目类别：
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