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A Newly Developed of Advanced Nano-pattern Generator with Large Work Area (ANGEL) and Investigation on the Nano-machinability

A Newly Developed of Advanced Nano-pattern Generator with Large Work Area (ANGEL) and Investigation on the Nano-machinability
新开发的大工作区先进纳米图案发生器（ANGEL）及其纳米可加工性研究
批准号：
19206017
负责人：
SHINNO Hidenori
金额：
$31.03万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19206017/
关键词：
マザーマシンナノ加工ナノ加工特性ナノモーション制御微細形状創成超精密加工システムナノ位置決め多軸同時制御ナノパターンナノメートル位置決め超精密加工高安定構造超微細加工ナノ運動制御

项目摘要

项目成果

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本研究では先端科学技術分野で重要となる広領域を対象とする超精密加工を実現するため,広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) と称する超精密加工システムの開発を行なっている.システムを構成する機構部,センサ部,制御部などの各構成要素は,理想的な構造を実現するために新たに開発したものである.開発した加工システムの性能評価を行なった結果,加工対象表面に所要のナノメートルオーダの微細加工を実現可能であることを確認している.
英文摘要
本研究では先端科学技術分野で重要となる広領域を対象とする超精密加工を実現するため,広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) と称する超精密加工システムの開発を行なっている.システムを構成する機構部,センサ部,制御部などの各構成要素は,理想的な構造を実現するために新たに開発したものである.開発した加工システムの性能評価を行なった結果,加工対象表面に所要のナノメートルオーダの微細加工を実現可能であることを確認している.
期刊论文(42)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
マイクロ温度センサを用いた超精密切削加工の適応制御
使用微型温度传感器的超精密切割自适应控制
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： 日本機械学会誌 Vol.112
影响因子： --
作者： [Y. Miyake, K. Nakahara, K. Shimomura, P. Strasser, N. Kawamura, A. Koda, S. Makimura, H. Fujimori, K. Nishiyama, Y. Matsuda, P. Bakule, T. Adachi, T. Ogitsu, 吉岡勇人]
通讯作者： 吉岡勇人
Vertical Nano-Positioning System with Gravity Compensator
带重力补偿器的垂直纳米定位系统
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Motohiro TAKAHASHI, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO]
通讯作者： Hidenori SHINNO
集束イオンビームによる硬ぜい性材料のナノ加工に関する研究
聚焦离子束硬脆材料纳米加工研究
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 精密工学会誌 Vol.74
影响因子： --
作者： [高橋信彦, 吉岡勇人, 新野秀憲]
通讯作者： 新野秀憲
An Adaptive Control of Ultraprecision Machining with an In-Process Micro-Sensor
使用过程中微传感器进行超精密加工的自适应控制
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing 2
影响因子： --
作者： [M. Hayashi, H. Yoshioka, H. Shnno]
通讯作者： H. Shnno
共 27 条
    A Newly Developed Compact Tree-Dimensional Profile Measuring System "Compact Nano-Profiler"
    • 批准号：
      21246026
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $27.21万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      SHINNO Hidenori
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Development of Ultraprecision ＆ Ultrafine Machining System for Fabricating Nano-Devices
    • 批准号：
      14102015
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
    • 资助金额：
      $61.82万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      SHINNO Hidenori
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Research into High Speed Ultraprecision Table System with Wideband Dynamic Stability
    • 批准号：
      12450056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.68万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      SHINNO Hidenori
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Research and development of an Asian-oriented table system based on "one-way assemble" concept
    • 批准号：
      11555040
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B).
    • 资助金额：
      $4.22万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      SHINNO Hidenori
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    海外基金