课题基金 / 基金详情

レーザー分光法による光励起表面脱離粒子の速度計測

レーザー分光法による光励起表面脱離粒子の速度計測
使用激光光谱测量光激发表面解吸颗粒的速度
批准号：
04223204
负责人：
前田 三男
金额：
$1.6万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04223204/
关键词：
光プロセスタイム・オブ・フライトレーザー分光法高温超伝導膜共鳴多光子イオン化法レーザー誘起蛍光法速度分布計測

项目摘要

项目成果

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プロセス中の気相素過程における中間反応種のin Situな計測法として,レーザー分光法は大変有用である。本研究ではレーザー誘起蛍光(LIF)法と共鳴多光子イオン化(REMPI)法を用いて,光プロセス中の温種ラジカルの密度や速度分布を,高い時間・空間分解能で計測する技術を開発し,表面との反応を含めたプロセス動力学の解明を行なおうとするものである。本年度は本重点領域研究の最終年度にあたるが,さらにLIF法を表面相互作用の計測に拡張するため,レーザーアブレションの際の放出粒子の速度分布等をLIFとTOF(飛行時間測定)を組合せた方法で解明する研究を行った。これまでの主な成果をまとめると以下の通りである。1.ジシランのArFレーザによる一光子分光解によって生成した各種ラジカルを,LIFとREMPI(共鳴多光子イオン化法)で観測し,その拡散・反応過程を研究した。測定したのは,Si,Si^*,SiH,Si_2,HでSiH_3は検知することができなかった。2.高温超伝導膜生成の際に重要なArFレーザでアブレイトしたYBaCuOプルーム中のBa,BaO,YOなどの粒子をLIF-TOF計測し,その速度分を求めた。3.ArFレーザーでアブレイトした粒子群のガス中での運動や基板近傍ディテクターアレイでそのLIFを見ることによって一次元的に観測した。
期刊论文(10)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Tatsuo Okada他: "Diagnosties of Gas-Phase Processes in Laser Induced Chemical Vapour Deposition by Laser Spectroscopy" Lasers Engineerng. 1. 49-66 (1991)
Tatsuo Okada 等人：“通过激光光谱诊断激光诱导化学气相沉积中的气相过程”，《激光工程》1. 49-66 (1991)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tatsuo Okada 他: "Characteristics of Plasma-Enhanced Photoemission form Thin Films during Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition" Japanese Journal Applied Physice. 30. L1591-L1593 (1991)
Tatsuo Okada 等人：“等离子体辅助化学气相沉积过程中薄膜的等离子体增强光电发射特性”，日本应用物理学杂志 30。L1591-L1593 (1991)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
前田 三男他: "光およびプラズマを用いた薄膜堆積過程のレーザー分光計測" 光学. 20. 2-9 (1991)
Mitsuo Maeda 等人：“使用光和等离子体进行薄膜沉积过程的激光光谱测量”光学。 20. 2-9 (1991)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Tastuo Okada他: "Investigaions of Behavior of Particles Gdnerated from Laser-Ablated YBa_2 Cu_3 O_<7-X> Target Using Laser-Induced Fluorescence" Applied Physics Letters. 60. 941-943 (1992)
Tastuo Okada 等人：“利用激光诱导荧光研究激光烧蚀 YBa_2 Cu_3 O_<7-X> 靶标生成的粒子的行为”应用物理快报 60. 941-943 (1992)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
光IC型単一チップフェムト秒パルス発生
  • 批准号：
    11875082
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.15万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    前田 三男
  • 依托单位：
    Kyushu University
単一チップ集積型可変波長レーザーの研究
  • 批准号：
    10875015
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.15万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    前田 三男
  • 依托单位：
    Kyushu University
シュタルクライダーによる大気中の電解分布のリモートセンシング
  • 批准号：
    09875074
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    前田 三男
  • 依托单位：
    Kyushu University
レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測
  • 批准号：
    07217215
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $0.96万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    前田 三男
  • 依托单位：
    Kyushu University
海外基金