レーザー分光法による光励起表面脱離粒子の速度計測

使用激光光谱测量光激发表面解吸颗粒的速度

基本信息

批准号：
04223204
负责人：
前田三男
金额：
$ 1.6万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プロセス中の気相素過程における中間反応種のin Situな計測法として,レーザー分光法は大変有用である。本研究ではレーザー誘起蛍光(LIF)法と共鳴多光子イオン化(REMPI)法を用いて,光プロセス中の温種ラジカルの密度や速度分布を,高い時間・空間分解能で計測する技術を開発し,表面との反応を含めたプロセス動力学の解明を行なおうとするものである。本年度は本重点領域研究の最終年度にあたるが,さらにLIF法を表面相互作用の計測に拡張するため,レーザーアブレションの際の放出粒子の速度分布等をLIFとTOF(飛行時間測定)を組合せた方法で解明する研究を行った。これまでの主な成果をまとめると以下の通りである。1.ジシランのArFレーザによる一光子分光解によって生成した各種ラジカルを,LIFとREMPI(共鳴多光子イオン化法)で観測し,その拡散・反応過程を研究した。測定したのは,Si,Si^*,SiH,Si_2,HでSiH_3は検知することができなかった。2.高温超伝導膜生成の際に重要なArFレーザでアブレイトしたYBaCuOプルーム中のBa,BaO,YOなどの粒子をLIF-TOF計測し,その速度分を求めた。3.ArFレーザーでアブレイトした粒子群のガス中での運動や基板近傍ディテクターアレイでそのLIFを見ることによって一次元的に観測した。

激光光谱学非常有用，作为在此过程中气相过程中中间反应物的原位测量。在这项研究中，我们将开发一项技术，以使用激光诱导的荧光（LIF）（LIF）和谐振多光子电离（REMPI）方法来衡量热物种激进分子的密度和速度分布，我们将尝试阐明过程动力学，包括与表面相反应的反应。今年标志着该焦点区域研究的最后一年，为了扩展LIF方法以测量表面相互作用，我们进行了一项研究，以使用LIF和TOF（飞行测量时间）的组合在激光消融过程中阐明发射颗粒的速度分布。迄今为止的主要结果总结如下：1。使用LIF和REMPI（谐振剂多光子离子化方法）观察到通过单光子光谱产生的各种自由基，并研究了扩散和反应过程。无法检测到测量值，SI^*，SIH，SI_2和H，并且无法检测到SIH_3。 2。在用ARF激光烧蚀的Ybacuo羽流中的BA，BAO，YO等颗粒上进行LIF-TOF测量，这对于生成高温超导膜很重要，并确定了速度。 3。通过观察气体中的LIF和底物检测器阵列中的LIF，在一个维度上观察到用ARF激光烧蚀的颗粒运动。