レ-ザ-分光法による光励起プロセスの気相素過程の計測

使用激光光谱测量光激发过程中的气相基本过程

• 批准号: 02253210
• 负责人: 前田 三男
• 金额: $ 1.92万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02253210/
• 关键词: 光プロセス; ジシラン; レ-ザ-分光法; 光CVD; 共鳴多光子イオン化法; レ-ザ-誘起蛍光法; エキシマレ-ザ-

プロセス中の気相素過程における中間反応種のin Situな計測法として,レ-ザ-分光法は大変有用である。本研究ではレ-ザ-誘起蛍光(LIF)法と共鳴多光子イオン化(REMPI)法を用いて,光プロセス中の各種ラジカルの密度や速度分布を,高い時間・空間分解能で計測する技術を開発し,表面との反応を含めたプロセス動力学の解明を行なおうとするものである。本年度はジシランのArFレ-ザ-フォトリシスによる中間反応種の検知と,気相素過程の解析を中心に研究を進め,以下の成果を得た。1.ジシランのArFレ-ザ-による一光子光分解によって生成した,Si原子をREMPI法により検知し,基底準位と第一励起準位に存在する原子密度の絶対測定を行なった。2.生成したSi原子と親ガスとの反応はほとんど起こらないことを確認した。3.さらに3光子励起のREMPI法により,水素原子を検知し,それと親ガスとの反応定数を測定した。4.上述の条件ではSiH_3ラジカルは検知できず,その生成はあまり多くないことがわかった。5.LIF光のディテクタ-アレイによる空間分解計測装置を開発し,ラジカル密度の空間分布の単一ショット計測を可能にした。次年度にはこれによって表面反応の計測を行ないたい。6.プラズマスパッタ-された鉄原子のドプラ-プロファイルをLIF法により計測し,衝突によってthermalizeされる様子を観測した。次年度には光プロセスへの適用を計画している。

The measurement method of プロセス中の気phase element process における intermediate reaction species のin situな measurement method として, the レ-ザ-spectrometry method は大変 is useful である. In this study, the light-induced light (LIF) method and the resonance multi-photon irradiation (REMPI) method were used, and the speed of various light densities in the light photon was used. Degree distribution, high time and space decomposition technology, measurement technology, surface reaction technology, and dynamic analysis. This year, the Center for Research on Intermediate Reaction Plants and the Analysis Center for Phosphate Processes has made progress this year, and the following results have been obtained. 1.ジシランのArFレ-ザ-によるOne photon light decomposition によって generates した, Si atom をREM The PI method is based on the knowledge of the existence of the base level and the first excitation level, and the determination of the atomic density of the atomic density. 2. Generate Si atoms and react with them. 3. The REMPI method of 3-photon excitation is used to measure the hydrogen atom's known number and the specific number of the hydrogen atom. 4. The above-mentioned conditions are as follows: 5. LIF optical fiber-optical spatial decomposition measurement device is available, and the spatial distribution of LIF density is possible. The following year's surface reaction measurement was carried out. 6.Hydrochemical LIF methodによりmeasurementし, conflictによってthermalizeされる様子を観measurementした. The next year's には光プロセスへのapplicableをplanしている.

项目成果

W.Z.Park 他: "Investigation of the Thermalization of Sputtered Atoms in a Magnetron Discharge Using Induced Fluorescence" Applied Physics Letters.

W.Z.Park 等人：“利用诱导荧光研究磁控管放电中溅射原子的热化”应用物理快报。

前田 三男 他: "光およびプラズマを用いた薄膜堆積過程のレ-ザ-分光計測" 光学. 20. 2-9 (1991)

Mitsuo Maeda 等人：“使用光和等离子体进行薄膜沉积过程的激光光谱测量”光学。 20. 2-9 (1991)

Tatsuo Okada 他: "In Situ Detection of Methyl Radicals in Laser Chemical Vapor Deposition Environment by Resonance Ionization Spectroscopy" Applied Physics Letters. 56. 1380-1382 (1990)

Tatsuo Okada 等人：“通过共振电离光谱法对激光化学气相沉积环境中的甲基自由基进行原位检测”《应用物理快报》56. 1380-1382 (1990)。