レ-ザ-分光法による光励起プロセスの気相素過程の計測

使用激光光谱测量光激发过程中的气相基本过程

基本信息

批准号：
02253210
负责人：
前田三男
金额：
$ 1.92万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プロセス中の気相素過程における中間反応種のin Situな計測法として,レ-ザ-分光法は大変有用である。本研究ではレ-ザ-誘起蛍光(LIF)法と共鳴多光子イオン化(REMPI)法を用いて,光プロセス中の各種ラジカルの密度や速度分布を,高い時間・空間分解能で計測する技術を開発し,表面との反応を含めたプロセス動力学の解明を行なおうとするものである。本年度はジシランのArFレ-ザ-フォトリシスによる中間反応種の検知と,気相素過程の解析を中心に研究を進め,以下の成果を得た。1.ジシランのArFレ-ザ-による一光子光分解によって生成した,Si原子をREMPI法により検知し,基底準位と第一励起準位に存在する原子密度の絶対測定を行なった。2.生成したSi原子と親ガスとの反応はほとんど起こらないことを確認した。3.さらに3光子励起のREMPI法により,水素原子を検知し,それと親ガスとの反応定数を測定した。4.上述の条件ではSiH_3ラジカルは検知できず,その生成はあまり多くないことがわかった。5.LIF光のディテクタ-アレイによる空間分解計測装置を開発し,ラジカル密度の空間分布の単一ショット計測を可能にした。次年度にはこれによって表面反応の計測を行ないたい。6.プラズマスパッタ-された鉄原子のドプラ-プロファイルをLIF法により計測し,衝突によってthermalizeされる様子を観測した。次年度には光プロセスへの適用を計画している。

激光光谱学非常有用，作为在此过程中气相过程中中间反应物的原位测量。在这项研究中，我们将开发一项技术，以使用激光诱导的荧光（LIF）（LIF）和谐振多光子电离（REMPI）方法来测量具有较高时间和空间分辨率的各种自由基的密度和速度分布，我们将尝试阐明过程动力学，包括与表面的反应，包括与表面的反应。今年，我们进行了研究，重点是检测二硅烷的ARF激光光解和分析气相元素过程，并获得以下结果。 1。通过REMPI方法检测到用ARF激光器的单光子光解产生的Si原子，并在基础和第一激发水平中对原子密度的绝对测量进行了测量。 2。证实，形成的Si原子与母体气体之间几乎没有反应。 3。此外，通过具有三种光子激发的REMPI方法检测到氢原子，并测量了它们之间的反应常数。 4。在上述条件下，无法检测到SIH_3自由基，发现它们不是很大。 5。开发了使用LIF光的检测器阵列的空间分辨测量设备，从而实现了自由基密度的空间分布的单个射击测量。这将用于明年测量表面反应。 6。通过LIF方法测量了血浆溅射铁原子的多普勒曲线，并观察到通过碰撞进行热级。该公司计划明年将其应用于光学流程。