レ-ザ-分光法による光励起プロセスの気相素過程の計測

使用激光光谱测量光激发过程中的气相基本过程

基本信息

批准号：
03239209
负责人：
前田三男
金额：
$ 1.98万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
起止时间：
1991 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プロセス中の気相素過程における中間反応種のin Situな計測法として,レ-ザ-分光法は大変有用である。本研究ではレ-ザ-誘起蛍光(LIF)法と共鳴多光子イオン化(REMPI)法を用いて,光プロセス中の各種ラジカルの密度や速度分布を,高い時間・空間分解能で計測する技術を開発し,表面との反応を含めたプロセス動力学の解明を行なおうとするものである。本年度は昨年度に引き続きジシランのArFレ-ザ-による光解離プロセスの気相過程の研究を行なったが,さらに新しく,レ-ザ-アブレ-ションの際の放出粒子の速度分布等をLIF(レ-ザ-誘起蛍光法)とTOF(飛行時間測定)を組合せた方法で解明する研究を行なった。これまでの主な成果をまとめると以下の通りである。1.ジシランのArFレ-ザ-による一光子光分解によって生成した各種ラジカルを,LIFとREMPI(共鳴多光子イオン化法)で観測し,その拡散・反応過程を研究した。測定したのはSi,Si^*,SiH,Si_2,Hで,SiH_3は検知することができなかった。2.高温超伝導膜生成の際に重要なArFレ-ザ-でアブレイトしたYBaCuOプル-ム中のBa,BaO,YOなどの粒子をLIFーTOF計測し,その速度分布を求めた。3.ArFレ-ザ-でアブレイトしたAl原子の基板への付着状況を,ディテクタ-アレイでそのLIFを見ることによって観測することを試みた。今後はさらにアブレ-ション過程の研究をより詳細に行なってゆく予定である。

激光光谱学非常有用，作为在此过程中气相过程中中间反应物的原位测量。在这项研究中，我们将开发一项技术，以使用激光诱导的荧光（LIF）（LIF）和谐振多光子电离（REMPI）方法来测量具有较高时间和空间分辨率的各种自由基的密度和速度分布，我们将尝试阐明过程动力学，包括与表面的反应，包括与表面的反应。今年，在去年之后，我们对使用ARF激光器进行了对尿烷光解离过程的气相过程进行了研究，我们还进行了一项新的研究，以阐明激光消融过程中释放颗粒的速度分布，结合使用LIF（激光诱导的荧光）和TOF（超级测量时间）。迄今为止的主要结果总结如下：1。使用LIF和REMPI（谐振剂多光子离子化方法）观察到通过ARF激光单光子光解会产生的各种自由基，并研究了扩散和反应过程。测得的值是无法检测到Si，Si^*，SiH，Si_2和H，并且无法检测到SIH_3。 2。进行了用ARF激光烧蚀的Ybacuo Pullets中的粒子的LIF-TOF测量值，对产生高温超导膜很重要，并确定速度分布。 3。我们试图通过使用检测器阵列查看LIF来观察ARF激光在底物上消融的Al原子的粘附。将来，我们计划对消融过程进行进一步的详细研究。