レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

通过激光烧蚀产生自由基束和表面基本过程的激光光谱测量

• 批准号: 06228223
• 负责人: 前田 三男
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06228223/
• 关键词: レーザーアブレーション; エキシマーレーザー; レーザー分光法; 色素レーザー; 高温超伝導膜

本研究はエキシマーレーザーで固体ターゲット表面をアブレートした際に発生する原子分子ラジカルをビーム源として利用すること、それにLIF-TOF(飛行時間レーザー誘起蛍光)レーザー分光法を適用して表面素過程の観測を行なうことを目的として、平成5年から継続して研究を行なっている。本年度得られた主な研究成果は以下の通りである。1.パルス色素レーザーシートビームと高感度CCDカメラを組合わせた、二次元LIF-TOF分光計測システムを試作した。これによって特定ラジカルの空間分布がコマ撮りで観測できるようになった。2.上のシステムを用いて、YBCOの高温超伝導膜のパルスレーザーデポジッション(PLD)における酸素ガスとの反応過程や基板への衝突過程の観測を行なった。3.アルミナセラミックスをアブレイトした際に発生するアルミニウム原子をスリットから取出しビーム化させ、そのふるまいを上述の二次元LIF-TOF装置でイメージングした。

In this study, the application of LIF-TOF(Time of Flight Induced Fluorescence) spectroscopy to the measurement of surface element processes was studied in the fifth year of Heisei. This year's main research results are as follows: 1. High Sensitivity CCD Spectrometer and Quadratic LIF-TOF Spectrometer The spatial distribution of a specific group of people 2. In addition, the reaction process of YBCO and the collision process of YBCO substrate are also studied. 3. The two-dimensional LIF-TOF device mentioned above can be used for the production of atomic materials.

项目成果

T.Okada 他: "Laser spectroscopic investigation of particle behavior in a laser ablation process" Applied Surface Science. 79/80. 136-140 (1994)

T. Okada 等人：“激光烧蚀过程中粒子行为的激光光谱研究”应用表面科学 79/80 (1994)。

W.K.A.Kumuduni 他: "Spatial Distribution of YO Molecules Ejected from Laser-Ablated YBa_2Cu_3O_<7-x>" Applied Physics B. 58. 289-294 (1994)

W.K.A.Kumuduni 等人：“激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-x> 中弹出的 YO 分子的空间分布”应用物理学 B. 58. 289-294 (1994)

岡田龍雄 他: "Laser Spectroscopic Diagnostics of Pulsed-Laser Deposition Process" レーザー研究. 22. 160-171 (1994)

Tatsuo Okada 等人：“脉冲激光沉积过程的激光光谱诊断”激光研究 22. 160-171 (1994)。

Y. Nakata他: "Radical Beams Produced by Laser Ablation and Their Application" Jpn. J. Appl. Phys.33. 4316-4319 (1994)

Y. Nakata 等人：“激光烧蚀产生的自由基束及其应用”J. Appl. 4316-4319 (1994)。

Y.Nakata 他: "Plume-substrates interaction in pulsed-laser deposition of high-temperature superconducting thin films" Applied Physics Letters. 64. 2599-2601 (1994)

Y. Nakata 等人：“高温超导薄膜脉冲激光沉积中的羽流-基底相互作用”《应用物理快报》64. 2599-2601 (1994)。