レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

通过激光烧蚀产生自由基束和表面基本过程的激光光谱测量

• 批准号: 06228223
• 负责人: 前田 三男
• 金额: $ 1.28万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06228223/
• 关键词: レーザーアブレーション; エキシマーレーザー; レーザー分光法; 色素レーザー; 高温超伝導膜

本研究はエキシマーレーザーで固体ターゲット表面をアブレートした際に発生する原子分子ラジカルをビーム源として利用すること、それにLIF-TOF(飛行時間レーザー誘起蛍光)レーザー分光法を適用して表面素過程の観測を行なうことを目的として、平成5年から継続して研究を行なっている。本年度得られた主な研究成果は以下の通りである。1.パルス色素レーザーシートビームと高感度CCDカメラを組合わせた、二次元LIF-TOF分光計測システムを試作した。これによって特定ラジカルの空間分布がコマ撮りで観測できるようになった。2.上のシステムを用いて、YBCOの高温超伝導膜のパルスレーザーデポジッション(PLD)における酸素ガスとの反応過程や基板への衝突過程の観測を行なった。3.アルミナセラミックスをアブレイトした際に発生するアルミニウム原子をスリットから取出しビーム化させ、そのふるまいを上述の二次元LIF-TOF装置でイメージングした。

自1993年以来，这项研究一直在进行持续研究，目的是使用原子分子自由基，当时将固体靶表面用作为束源作为梁源进行消融，并使用LIF-TOF（飞行器激光诱导的荧光）激光器光谱检查表面元件过程。今年获得的主要研究结果如下：1。我们创建了一个二维LIF-TOF光谱测量系统，该系统将脉冲染料激光片束与高灵敏度CCD摄像头结合在一起。这允许在延时观察到特定自由基的空间分布。 2。使用上述系统，我们在YBCO高温超导膜的脉冲激光沉积（PLD）期间观察到与氧气和碰撞过程的反应过程。 3。从缝隙中除去磨损的氧化铝陶瓷时产生的铝原子并变成梁，并使用上述二维LIF-TOF设备对其行为进行成像。

项目成果

T.Okada 他: "Laser spectroscopic investigation of particle behavior in a laser ablation process" Applied Surface Science. 79/80. 136-140 (1994)

T. Okada 等人：“激光烧蚀过程中粒子行为的激光光谱研究”应用表面科学 79/80 (1994)。

Y.Nakata 他: "Plume-substrates interaction in pulsed-laser deposition of high-temperature superconducting thin films" Applied Physics Letters. 64. 2599-2601 (1994)

Y. Nakata 等人：“高温超导薄膜脉冲激光沉积中的羽流-基底相互作用”《应用物理快报》64. 2599-2601 (1994)。

W.K.A.Kumuduni 他: "Spatial Distribution of YO Molecules Ejected from Laser-Ablated YBa_2Cu_3O_<7-x>" Applied Physics B. 58. 289-294 (1994)

W.K.A.Kumuduni 等人：“激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-x> 中弹出的 YO 分子的空间分布”应用物理学 B. 58. 289-294 (1994)

岡田龍雄 他: "Laser Spectroscopic Diagnostics of Pulsed-Laser Deposition Process" レーザー研究. 22. 160-171 (1994)

Tatsuo Okada 等人：“脉冲激光沉积过程的激光光谱诊断”激光研究 22. 160-171 (1994)。