レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

通过激光烧蚀产生自由基束和表面基本过程的激光光谱测量

• 批准号: 05237224
• 负责人: 前田 三男
• 金额: $ 1.66万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-05237224/
• 关键词: レーザーアブレーション; レーザー誘起蛍光法; 高温超伝導; 薄膜

本研究の目的は、エキシマーレーザーアブレーションによって物質表面から瞬間的に各種ラジカルビームが発生することに着目し、それにレーザー誘起蛍光法(LIF)を適用して、発生したビームを表面との相互作用の研究を行なうものである。これまで我々はYBCO高温超伝導膜生成プロセスに適用し、Y,Ba,Cu,YO,BaO,CuO等のビームのふるまいについて研究してきた。これらの成果をもとに、各種ラジカルビームの生成に本方法を適用してゆく。本年度行なった研究は以下の通りである。1)YBCOアブレーションプロセスについては、YOラジカルビームについてO_2緩衡ガスとの衝突のダイナミックス、基板との相互作用、微粒子の発生についてより詳細な観測を行なった。2)アルミナセラミックスをアブレイトした時に発生するAl原子ビームのTOF速度分布計測を行ない、酸素との反応について研究した。3)各種ポリマーのアブレイトを試みたが今のところC_2ラジカルビームのみしか観測していない。今後はさらに多原子のラジカル(CH,CH2,CF等)の観測を行なってゆきたい。LIF観測系についても次年度は現在のアレイディテクターからCCDカメラに換え、2次元のTOFイメージングを試みる予定である。

The purpose of this study is:てMaterial surface and instantaneous various materials Focus on the application of the LIF method, and the research on the interaction between the surface and the surface of the raw material.これまで我々はYBCO high temperature superconducting film generation プロセスに is applicable to し, Y, Ba, Research on Cu, YO, BaO, CuO, etc. This method is suitable for all kinds of ラジカルビームの generated by をもとに. This year, we will conduct research on the following topics. 1) YBCO アブレーションプロセスについては、YOラジカルビームについてO_2 easing balance ガスとのconflict のダイナミックス, substrate とのinteraction, microparticle の発生についてより in detail な観measurement を行なった. 2)アルミナセラミックスをアブレイトした时に発生するAlatomicビームのTOF velocity distribution measurement を行ない, acid element とのreaction について research した. 3) All kinds of ポリマーのアブレイトをtest みたがNow のところC_2ラジカルビームのみしかtest していない. From now on, we will use polyatomic のラジカル (CH, CH2, CF, etc.) as a measurement method. CC Dカメラにchangeえ, 2-dimensional TOFイメージングをtrialみる灧ある.

项目成果

Tatsuo Okada 他: "Piezoelectric Sensing of Particles by Pulsed-Laser Ablation of YBa_2Cu_3O_<7-delta>" Japanese Journal of Applied Physics. 32. L1535-L1537 (1993)

Tatsuo Okada 等人：“脉冲激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-δ> 的粒子压电传感”，日本应用物理学杂志 32。L1535-L1537 (1993)

Wanniarachchi K.A.Kumuduni 他: "Effect of Ambient Oxygen Gas on the Transport of Particles Produced by Laser Ablated YBa_2Cu_3O_<7-X>" Japanese Journal of Applied Physics. 32. L271-L273 (1993)

Wanniarachchi K.A.Kumuduni 等人：“环境氧气对激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-X> 产生的粒子传输的影响”，《日本应用物理学杂志》32. L271-L273 (1993)。

岡田 龍雄 他: "レーザーアブレーション法における放出粒子挙動のレーザー分光計測" 応用物理. 62. 1221-1224 (1993)

Tatsuo Okada 等人：“激光烧蚀方法中发射粒子行为的激光光谱测量”应用物理学 62. 1221-1224 (1993)。

Wanniarachchi K.A.Kumuduni 他: "Transport of YO molecules produced by ArF laser ablation of YBa_2Cu_3O_<7-delta> in ambient oxgen gas" Japanese Journal of Applied Physics. 74. (1993)

Wanniarachchi K.A.Kumuduni 等人：“ArF 激光烧蚀 YBa_2Cu_3O_<7-δ> 产生的 YO 分子在环境氧气中的传输”，《日本应用物理学杂志》74。（1993）

岡田 龍雄 他: "パルスレーザーデポジションプロセスのレーザー分光計測" レーザー研究. 22(掲載予定). (1994)

Tatsuo Okada 等人：“脉冲激光沉积过程的激光光谱测量”Laser Research 22（待出版）。