レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

通过激光烧蚀产生自由基束和表面基本过程的激光光谱测量

• 批准号: 07217215
• 负责人: 前田 三男
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07217215/
• 关键词: レーザーアブレーション; パルスレーザーデポジション; エキシマーレーザー; レーザー分光法; 二次元画像計測; レーザー誘起蛍光法

本研究はエキシマーレーザーで固体ターゲット表面をアブレートした際に発生する原子分子ラジカルをビーム源として利用すること、それにLIF-TOF(飛行時間レーザー誘起蛍光)レーザー分光法を適用して表面素過程の観測を行なうことを目的として、平成5年から継続して研究を行なっている。その最終年度である本年度得られた主な研究成果は以下の通りである。1.パルス可変波長レーザー(色素レーザー、OPO)によるシートビームと高感度CCDカメラを組合わせた、二次元LIF-TOF分光計測システムを開発し、YBCO高温超伝導膜作成時のY, YO, Ba, BaO, Cu等のラジカルの時間・空間分布を詳細に観測し、Y・BaとCuとでは酸化過程に大きな違いがあることを明らかにした。2.レーザー光散乱法を用いてYBCO膜作成時のダストの発生を観測し、ターゲットから直接発生するものと、輸送中に凝縮により生成するものがあることを見出した。3.BaTiO_3等の各種光学膜の作成にもパルスレーザーデポジション法を適用し、その成膜過程を観測した。以上の結果により3年間にわたる本研究当初の目標を達成できたものと考えている。

This study は エ キ シ マ ー レ ー ザ ー で solid タ ー ゲ ッ ト surface を ア ブ レ ー ト し た interstate に 発 raw す る atom molecule ラ ジ カ ル を ビ ー ム source と し て using す る こ と, そ れ に LIF - TOF (time of flight レ ー ザ ー induced 蛍 light) レ ー ザ ー spectrometry を applicable し て surface element process の 観 measuring line を な う こ と を purpose と し て, pp.47-53, 5 In the year, ら継続 ら継続 て studied を line なって る る. Youdaoplaceholder0 そ the final year である the main research results of this year られた the な research achievements である the following られた general である である. 1. パ ル ス can - wavelength レ ー ザ ー (pigment レ ー ザ ー, OPO) に よ る シ ー ト ビ ー ム と Gao Gan degree of CCD カ メ ラ を combination わ せ た, secondary yuan LIF - TOF spectrometer measuring シ ス テ ム を open 発 し, YBCO high temperature super 伝 guide film made の Y, yukio okamoto,, Ba, BaO, Cu etc. の ラ ジ カ ル の time, space distribution を detailed に 観 し, Y DE Ba と Cu と で は acidification process に big き な violations い が あ る こ と を Ming ら か に し た. 2. レ ー ザ ー を light scattered method with い て YBCO film made when の ダ ス ト の 発 raw を 観 し, タ ー ゲ ッ ト か ら directly 発 raw す る も の と に in transmission, condensation に よ り generated す る も の が あ る こ と を shows し た. 3. BaTiO_3 の such as all kinds of optical film の made に も パ ル ス レ ー ザ ー デ ポ ジ シ ョ ン を applicable し, そ の film-forming process を 観 measuring し た. The above <s:1> results によ によ over three years にわたる the original <s:1> goal of this study を was achieved で た た た と と was examined えて る る る.

项目成果

T. Okada, 他: "Second-harmonic generation in pulsed-laser deposited BaTiO_3 thin films" Jpn. J. Appl. Phys.34. 1536-1539 (1995)

T. Okada 等人：“脉冲激光沉积 BaTiO_3 薄膜中的二次谐波”J. Appl. 1536-1539 (1995)。

W. K. A. Kumuduni, 他: "Effect of cumulative ablation on the ejection of particulates and molecular species from YBa_2Cu_3O_<7-x>" Journal of Applied Physics. 77. 5964-5967 (1995)

W. K. A. Kumuduni 等人：“累积烧蚀对 YBa_2Cu_3O_<7-x> 中颗粒和分子种类喷射的影响”应用物理学杂志 77. 5964-5967 (1995)。

Y. Nakata, 他: "Two-dimensional laser-induced fluorescence imaging of non-emissive species in pulsed-laser deposition of YBa_2Cu_3O_<7-x>" Applied Physics Letters. 66. 3206-3208 (1995)

Y. Nakata 等人：“YBa_2Cu_3O_<7-x> 脉冲激光沉积中非发射物质的二维激光诱导荧光成像”应用物理快报 66. 3206-3208 (1995)。

Y. Nakata, 他: "Time-of-flight distributions of Si atoms ejected by KrF laser ablation of Si_3N_4" Jpn. J. Appl. Phys.33. 4079-4080 (1995)

Y. Nakata 等人：“KrF 激光烧蚀 Si_3N_4 喷射的 Si 原子的飞行时间分布”J. Appl. 4079-4080 (1995)。