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レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測

レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測
通过激光烧蚀产生自由基束和表面基本过程的激光光谱测量
批准号:
07217215
负责人:
前田 三男
金额:
$0.96万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
1995
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1995 至 --

项目摘要

项目成果

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本研究はエキシマーレーザーで固体ターゲット表面をアブレートした際に発生する原子分子ラジカルをビーム源として利用すること、それにLIF-TOF(飛行時間レーザー誘起蛍光)レーザー分光法を適用して表面素過程の観測を行なうことを目的として、平成5年から継続して研究を行なっている。その最終年度である本年度得られた主な研究成果は以下の通りである。1.パルス可変波長レーザー(色素レーザー、OPO)によるシートビームと高感度CCDカメラを組合わせた、二次元LIF-TOF分光計測システムを開発し、YBCO高温超伝導膜作成時のY, YO, Ba, BaO, Cu等のラジカルの時間・空間分布を詳細に観測し、Y・BaとCuとでは酸化過程に大きな違いがあることを明らかにした。2.レーザー光散乱法を用いてYBCO膜作成時のダストの発生を観測し、ターゲットから直接発生するものと、輸送中に凝縮により生成するものがあることを見出した。3.BaTiO_3等の各種光学膜の作成にもパルスレーザーデポジション法を適用し、その成膜過程を観測した。以上の結果により3年間にわたる本研究当初の目標を達成できたものと考えている。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
T. Okada, 他: "Second-harmonic generation in pulsed-laser deposited BaTiO_3 thin films" Jpn. J. Appl. Phys.34. 1536-1539 (1995)
T. Okada 等人:“脉冲激光沉积 BaTiO_3 薄膜中的二次谐波”J. Appl. 1536-1539 (1995)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
W. K. A. Kumuduni, 他: "Effect of cumulative ablation on the ejection of particulates and molecular species from YBa_2Cu_3O_<7-x>" Journal of Applied Physics. 77. 5964-5967 (1995)
W. K. A. Kumuduni 等人:“累积烧蚀对 YBa_2Cu_3O_<7-x> 中颗粒和分子种类喷射的影响”应用物理学杂志 77. 5964-5967 (1995)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
Y. Nakata, 他: "Two-dimensional laser-induced fluorescence imaging of non-emissive species in pulsed-laser deposition of YBa_2Cu_3O_<7-x>" Applied Physics Letters. 66. 3206-3208 (1995)
Y. Nakata 等人:“YBa_2Cu_3O_<7-x> 脉冲激光沉积中非发射物质的二维激光诱导荧光成像”应用物理快报 66. 3206-3208 (1995)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
Y. Nakata, 他: "Time-of-flight distributions of Si atoms ejected by KrF laser ablation of Si_3N_4" Jpn. J. Appl. Phys.33. 4079-4080 (1995)
Y. Nakata 等人:“KrF 激光烧蚀 Si_3N_4 喷射的 Si 原子的飞行时间分布”J. Appl. 4079-4080 (1995)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
光IC型単一チップフェムト秒パルス発生
  • 批准号:
    11875082
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额:
    $1.15万
  • 财政年份:
    1999
  • 负责人:
    前田 三男
  • 依托单位:
単一チップ集積型可変波長レーザーの研究
  • 批准号:
    10875015
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额:
    $1.15万
  • 财政年份:
    1998
  • 负责人:
    前田 三男
  • 依托单位:
シュタルクライダーによる大気中の電解分布のリモートセンシング
  • 批准号:
    09875074
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1997
  • 负责人:
    前田 三男
  • 依托单位:
レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測
  • 批准号:
    06228223
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    前田 三男
  • 依托单位:
海外基金