反応性非平衝プラズマのモデリング

反应性非平衡等离子体的建模

• 批准号: 01632001
• 负责人: 田頭 博昭
• 金额: $ 10.24万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1989
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1989 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-01632001/
• 关键词: プラズマプロセス; 反応性RFプラズマ; プラズマモデリング; プラズマシミュレーション; プラズマ診断; 電子スオーム; 衝突断面積; モンテカルロ法

I.ラジカルの空間反応と輸送を含む反応性非平衝RFプラズマのモデル建設とシミュレーション技法の開発 i)モンテカルロモデル(田頭,酒井,北守)昨年度開発した電子と正・負イオンの運動をポアソン電界下でモンテカルロ法によって求めると共にラジカル発生レートのギャッブ間分布を求める手法をもとに、発生ラジカルの反応と拡散過程を拡散方程式に適切な境界条件を与えて解く手法を開発し、シランガスプラズマについてシミュレーシヨン計算を行なってアモルファスシリコンの堆積率毎分約50Åという妥当な値を得ることに成功した。ii)ハイブリッド流体モデル(佐藤、田頭)モンテカルロ法で電子エネルギー非平衝領域の電子群の性質を計算し、平衝領域では計算速度の速い差分法による手法を昨年度開発したが、これで求めたラジカル発生レートをもとにラジカルの反応、拡散を計算する手法を完成し、シランおよびシランと水素混合プラズマについて計算を実行し妥当な結果が得られることを示した。iii)緩和流体モデル(真壁、諸隈)電子エネルギ非平衝の効果を運動量およびエネルギー非平衝の時定数を導入して表現する手法を昨年度開発したがこれをメタンについでシランプラズマにも拡張し、負イオンの著しい効果について予測した。II.プラズマの時間・空間分解計測(真壁、諸隈)マルチチャネルアナライザ及びEWSを導入して本格的に計測を行なう装置を建設し、メタン、シラン及びアルゴンプラスマについて実測を行なった。III.電子スオーム計算(生田)生田の開発したFTI法をRF電界下に適用範囲を拡張し、シランについて電子スオームの諸特性を計算した。IV.電子衝突断面積の決定(中村)希ガスとのガス混合による電子スオーム法による断面積決定手法を用いてシランの電子衝突断面積セットを決定するとともにメタンの断面積決定の準備を行なった。

I. Spatial reflection and transmission of reflective non-flat-impulse RF pulses with high reflectivity (Taitou, Sakai, Kitamori) Yesterday's development of electron, positive and negative electron motion, dispersion and dispersion equations, appropriate boundary conditions, and solution methods The calculation of the accumulation rate of the system is successful at about 50%. ii) Calculation of the properties of electron clusters in the non-flat impulse domain by the method of differential velocity method for calculating the velocity of electrons in the flat impulse domain. The results of the calculation are shown below. iii) Relaxation fluid (true wall, various edges) electron generation non-flat impact effect motion quantity too long to generate non-flat impact effect time quantity to introduce performance method to develop last year to reduce the impact of the prediction. II. The time and space decomposition measurement (real wall, Zhukuma) of the first class of the first class. III. Calculation of the characteristics of the electron system by FTI method under RF field IV. Determination of electron collision cross-section area by electron mixing method and preparation for determination of electron collision cross-section area by electron mixing method.

项目成果

西村幹郎,中野誠彦,山口由岐夫,真壁利明: "Modeling of the Radical Transport in RF Glow Discharges in CH_4" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 337-340 (1990)

Mikio Nishimura、Masahiko Nakano、Yukio Yamaguchi、Toshiaki Makabe：“CH_4 中射频辉光放电中的自由基输运建模”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 337-340 (1990)。

倉知正,中村義春: "Electron Swarm Parameters in SiH_4-Rare Gas Mixtures and Collision Cross Sections for SiH_4 Molecule" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 265-268 (1990)

Tadashi Kurachi、Yoshiharu Nakamura：“SiH_4-稀有气体混合物中的电子群参数和 SiH_4 分子的碰撞截面”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 265-268 (1990)。

田頭博昭,北守一隆,伊達亜由美,酒井洋輔: "Modeling of RF Plasma Considering Radical Reaction" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 333-336 (1990)

Hiroaki Tagashira、Kazutaka Kitamori、Ayumi Date、Yosuke Sakai：“考虑自由基反应的射频等离子体建模”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 333-336 (1990)。

栃久保文嘉,鈴木晶,角田茂,寺薗裕子,浜田秀史,美濃島邦宏,真壁利明: "Diagonostics of RF Glow Discharges in SiH_4 by the Spatiotemporal Optical Emission Spectroscopy" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 157-160 (1990)

Fumiya Tochikubo、Akira Suzuki、Shigeru Tsunoda、Yuko Terazono、Hidefumi Hamada、Kunihiro Minoshima、Toshiaki Makabe：“时空发射光谱对 SiH_4 中射频辉光放电的诊断”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 157-160。 (1990)

佐藤信安,田頭博昭: "A Hybrid Model of RF Plasmas and Reactions in SiH_4/H_2" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 325-328 (1990)

Nobuyasu Sato、Hiroaki Tagashira：“SiH_4/H_2 中的 RF 等离子体和反应的混合模型”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 325-328 (1990)。