课题基金 / 基金详情

膜形成の基礎研究

膜形成の基礎研究
成膜基础研究
批准号：
03239103
负责人：
高橋 清
金额：
$21.12万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03239103/
关键词：
水銀増感光CVD法レ-ザ溶融再結晶化法ハイブリッド励起CVD法ディジタル光CVD法Arレ-ザ励起MOVPE

项目摘要

项目成果

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本研究は,成膜時に光を照射する光CVD法により各種半導体・金属・絶縁膜などの成膜を行ない,光CVD法の基礎メカニズムを解明することを目的として遂行された.その結果以下に示す研究成果が得られた.水銀増感光CVDほにより得られた超高濃度ド-ピング膜を熱アニ-ルすることにより,成膜時におけるPの不活性化の原因を究明することを試みた.その結果,空孔の回りに4つのP原子が集まった複合欠陥が生成するというモデルを新しく提案し,実験結果を説明することに成功した.表面光吸収法(SPA法)を用いてArレ-ザ照射されたGaAs基板上におけるTMGの光分解過程を調べ,レ-ザALEの成長機構を検討した.Ta_2O_5の膜析出の素反応過程を解明するため,ガス導入時の任意の時間に光照射を行なうディジタル光CVD法を行ない,Ta原料の表面光励起が律速段階であることを示した.ULSI技術におけるAl形成法として,ジメチルアルミニウムハイドライドとH_2を用いたハイブリッド励起CVD法を行なった.その結果,アスペクト比3以上,直径0.3μmのビアホ-ルへの選択Al成長に成功した.また,選択成長のメカニズムとして「表面電気化学反応」を提案した.レ-ザ溶融再結晶化法による多結晶Si膜の粒径を増大させるため,レ-ザ溶融時のSi薄膜の過渡温度分布を解析した.その結果,新しいレ-ザ溶融法を発案・検証し,多結晶Siの粒径を従来法に比べ3桁程度大きくすることに成功した.ZnSeのArレ-ザ励起MOVPEについて,原料ガスの分子構造の理論計算,および異種のSe原料を用いての成膜実験により,光触媒反応による成膜機構を検討した.
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
S.Tanimoto: "Tantalum Oxide Films Formed by UV Photo-CVD using Ozone and TaCl_5" Jpn.J.Appl.Phys.30. L330-L333 (1991)
S.Tanimoto：“使用臭氧和 TaCl_5 通过 UV Photo-CVD 形成钽氧化物薄膜”Jpn.J.Appl.Phys.30。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
A.Yoshikawa: "Effects of Ar ion Laser Irradiation on MOVPE of ZnSe Using DMZn and DMSe as Reactants" J.Crystal Growth. 107. 653-658 (1991)
A.Yoshikawa：“Ar 离子激光照射对使用 DMZn 和 DMSe 作为反应物的 ZnSe MOVPE 的影响”J.Crystal Growth。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y.Aoyagi: "Laser-assisted atomic layer epitaxy" Materials Science and Engineering. B10. 121-132 (1991)
Y.Aoyagi：“激光辅助原子层外延”材料科学与工程。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
K.Tsubouchi: "Selective Aluminum Chemical Vapor Deposition" J.Vac.Sci.& Tech.(1992)
K.Tsubouchi：“选择性铝化学气相沉积”J.Vac.Sci。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    自転車の総合的な走行空間維持管理のための評価指標の体系化
    • 批准号：
      24K07695
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      Kitami Institute of Technology
    自転車走行環境の多様性を考慮した乗り心地評価システムの構築
    • 批准号：
      21K04298
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      Kitami Institute of Technology
    イネ科植物の茎の構造と組織形成における傾斜構造の解析
    • 批准号：
      09229211
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $1.09万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      Tohoku University
    ベイジアンアプローチを用いた人口停滞下における交通量推計手法に関する研究
    • 批准号：
      08750673
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $0.64万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      The University of Tokyo