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半導体における光励起プロセスの基礎

半導体における光励起プロセスの基礎
半导体光激发过程的基础知识
批准号：
01306033
负责人：
高橋 清
金额：
$0.0万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
财政年份：
1989
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1989 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-01306033/
关键词：
光励起プロセス反応過程の制御表面反応の研究膜形成の基礎反応の計測・診断

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项目成果

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半導体集積回路技術の微細化及びデバイス性能の飛躍的向上にともない、従来用いられてきた熱プロセスの限界が認識され、現在、光励起プロセスが注目されている。本研究は、平成2年度から発足する重点領域研究「半導体における光励起プロセスの基礎」を行なうため、(1)各研究分担者の専門ならびに周辺領域研究の調査研究を行なうための全体会議(2)課題の調整ならびに研究の進め方を審議するための幹事会を開催し、重点領域研究発足のための準備研究を行なうことを目的に設けられた。この趣旨にもとづき本研究では、全体会議を2回・幹事会を1回開き、全体の総括として平成2年2月13日成果報告会を開催した。この場では、「反応過程の制御」「表面反応の研究」「膜形成の基礎」「反応の計測・診断」の各研究班から各自、平成元年度に得られた調査結果及び成果を発表・討論し合い、全体を「半導体における光励起プロセスの基礎」成果報告集としてまとめた。この結果、各研究分担者間の共通の問題意識が鮮明となり、次年度以降行なわれる重点領域研究の進め方について充分な討論を行なうことができた。以上より、平成2年度から重点領域を発足・推進していくための準備は充分に整えられたと考えられる。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Kazuhiko Mase: "Photostimulated desorption of NO chemisorbed on Pt(100)at 193nm" J.Chem.Phys.91. 590-597 (1989)
Kazuhiko Mase：“193nm 处 Pt(100) 上化学吸附的 NO 的光刺激解吸”J.Chem.Phys.91。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
M.Hanabusa: "Deposition of aluminum thin films by photochemical surface reaction" J.Appl.Phys.66. 3268-3274 (1989)
M.Hanabusa：“通过光化学表面反应沉积铝薄膜”J.Appl.Phys.66。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Akira Yamada: "Heavily P-Doped(>10^<21>cm^<-3>)Silicon Films Grown by Photo-chemical Vapor Deposition at a Very Low Temperature of 250℃" Jpn.J.Appl.Phys.28. 2284-2287 (1989)
Akira Yamada：“在 250℃ 极低温度下通过光化学气相沉积生长的重磷掺杂（>10^<21>cm^<-3>）硅薄膜”Jpn.J.Appl.Phys.28。 2284-2287 (1989)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Yoshiyuki Kazama: "High Efficiency Amorphous Silicon Solar Cells with“Delta-Doped"P-Layer"" Jpn.J.Appl.Phys.28. 1160-1164 (1989)
Yoshiyuki Kazama：“具有“Delta 掺杂”P 层”的高效非晶硅太阳能电池”Jpn.J.Appl.Phys.28 (1989)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    自転車の総合的な走行空間維持管理のための評価指標の体系化
    • 批准号：
      24K07695
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      Kitami Institute of Technology
    自転車走行環境の多様性を考慮した乗り心地評価システムの構築
    • 批准号：
      21K04298
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      Kitami Institute of Technology
    イネ科植物の茎の構造と組織形成における傾斜構造の解析
    • 批准号：
      09229211
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $1.09万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      Tohoku University
    ベイジアンアプローチを用いた人口停滞下における交通量推計手法に関する研究
    • 批准号：
      08750673
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $0.64万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      高橋 清
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    海外基金