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磁界中マイクロ波による低気圧マイクロプラズマの生成と診断

使用磁场中的微波产生低压微等离子体并进行诊断

基本信息

批准号：
16040214
负责人：
藤山寛
金额：
$ 3.2万
依托单位：
Nagasaki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,低気圧,短ギャップ条件下における新たなマイクロプラズマ源の開発およびその診断を目的として研究を行った.固体壁に囲まれた小さな閉空間プラズマでは,放電そのものが固体壁の影響を強く受けるのみならず,壁の状態がプラズマパラメータにフィードバックされる.プラズマが生成され始める磁界(放電開始磁界)を測定した結果,ECRおよび2^<nd> Harmonic ECR条件付近の磁界を印加したときに放電が開始する傾向が確認され,同軸型低気圧マイクロプラズマの生成を行うにあたり,ECR共鳴および2^<nd> Harmonic ECRの高次の共鳴が有効であることが確認された.また,プローブ測定,発光分光測定により,電子軌道の収縮に起因していると考えられる2^<nd> Harmonic ECR条件付近での電子密度,発光強度の増加が確認された.さらに,磁界配位を一様磁界からミラー磁界へと変更することにより,電子密度の増加が確認された.これは電子の軸方向の閉じ込め効果が効いているものと考えられる.二次電子放出係数の高いMgO電極壁を有する閉空間マイクロプラズマでは,2^<nd> Harmonic ECR条件で電子密度が最大,ECR条件で電子密度が最小となる結果が得られた.これはSUS電極と定性的に同じ結果である.しかしながら,壁との相互作用が激しいRCR条件でのマイクロプラズマは,壁の影響を強く受けて電子密度の増加率が最大となるという興味ある結果が得られた.この考察を裏付けるように,電子の閉じ込めの良い2^<nd> Harmonic ECR条件付近では,SUS電極をMgO電極に代えても電子密度がほとんど変化しない結果となった.また,二次電子放出係数を変化させて行われたPIC-MCシミュレーションの結果から,プローブ法及び発光分光法を用いたプラズマパラメータ診断の実験結果とシミュレーション結果が定性的に一致していることが確認された

In this study, under the condition of low temperature and short temperature, the purpose of this study is to conduct a comprehensive study on the purpose of this study. The solid wall is sensitive to the temperature of the solid wall, and the solid wall is strongly affected by the temperature of the solid wall. the solid wall is strongly affected by the solid wall, and the shape of the wall is affected. The system generates the test results of the initial magnetic field (the starting magnetic field). The lt;nd> Harmonic ECR condition is close to the magnetic field. The starting point of the system is to confirm the error, and the same type of low-voltage magnetic field is used to generate the same result. The ECR is responsible for the verification of the data, and the ECR is the same as the original. A total of Harmonic ECR high-level information is available to confirm the availability of information. Temperature measurement, optical spectrometer measurement, optical spectrometer determination of the cause of the transmission line, the lt;nd> Harmonic ECR condition is close to the density of the electron, and the optical intensity is increased to confirm the electron density. Magnetic field coordination, electron density, electron density and electron density. Please pay attention to the direction of the electric power station, and the result is that you will take an examination. The number of secondary electrons emitted is very high. The wall wall of MgO has the highest density of electrons under 2 ^ & lt;nd> Harmonic ECR conditions, and the minimum density of electrons under ECR conditions achieves satisfactory results. Compare the qualitative results of SUS computer with the same results. The wall-to-wall interaction excitates the RCR condition, and the wall-to-wall effect is strongly affected by the increase in the density of electrons, which is the highest in the temperature field. We have investigated how much money we pay, the better we pay, the better we pay, the more lt;nd> Harmonic ECR we pay, the better we pay, and the more SUS we pay, the better, the better results. In this case, secondary computers have been emitted, and the results have been confirmed by the use of infrared spectroscopy and photospectrum spectrophotometry. The results show that the results are consistent with the results of the PIC-MC test results.