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磁化シランプラズマ中におけるラジカル生成と微粒子輸送

磁化硅烷等离子体中的自由基产生和粒子传输

基本信息

批准号：
07217216
负责人：
藤山寛
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Nagasaki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

反応性シランプラズマ中におけるシリコン微粒子の発生,成長,結合,輸送,消滅などの機構をラジカルや負イオンとの関連を通して調べた.さらに電界に垂直なクロスフィールド磁界の印加によるE×Bドリフトがシリコン微粒子の空間分布に及ぼす影響を定量的に診断することにより,シリコン微粒子の動的制御を試みた.その結果を要約すると以下のようになる.1.微粒子が存在する磁化プラズマ中の空間電位分布をエミッシブプローブにより初めて測定した.その結果微粒子が存在する領域の空間電位が存在しない領域よりも高いことがわかり,電界の方向が微粒子のない純Arプラズマと反対になっていることが明らかになった.その理由としては負イオンの形成が考えられる.すなわち,純アルゴン中では拡散の早い電子を閉じ込めるように電位分布が形成されるが,重い負イオンが存在するプラズマでは,逆に正イオンを閉じ込めるように電位分布が形成されるため,負に帯電した微粒子が存在する領域の電位がその周囲の電位より高くなる.2.シリコン微粒子分布の時間変化の各種パラメータ依存性の計測および・シリコン微粒子成長および減衰の周期と各種制御パラメータ依存性の計測を行い,放電電流の時間変化との比較を行った.その結果,核形成期,微粒子成長期,成長飽和期における放電電流の変化との比較から微粒子成長の初期過程を考察した.3.同一周波数の低周波変調電磁界下で微粒子の輸送を実験的に調べた結果,常に一定の方向のE×Bドリフトにより数nmの微粒子が放電空間から効率的に排除されることが確かめられた.4.シリコン微粒子に働く力を総合的に考慮した流体方程式により,負電子,正イオン,帯電微粒子のドリフト速度を計算した.このモデリングにおいて上記1〜3の測定データを反映させることができた.

The mechanism for the generation, growth, association, transport, and destruction of particles in the reaction system is regulated. The spatial distribution of particles in the vertical and magnetic fields and the influence of the particles on the electric field are quantitatively diagnosed. 1. The spatial potential distribution in the magnetization of micro-particles was determined. As a result, the spatial potential of the micro-particles exists in the field, and the direction of the electrical field is pure Ar. The reason for this is that the formation of the negative side of the body is not easy. The potential distribution is formed when the electrons are scattered in the pure range, and the negative range exists when the potential distribution is formed when the electrons are negative. 2. Measurement of the time dependence of the particle distribution on the growth and decay cycle of particles, and comparison of the time dependence of the discharge current. The results show that the phase of nucleus formation, the phase of particle growth, the phase of saturation growth, the phase of current transition and the initial phase of particle growth are compared. 3. The phase of particle transport in the electromagnetic field with low frequency modulation at the same frequency is modulated. For a given direction, E×B particles of several nm are excluded from the calculation of the spatial efficiency of particles. Note 1 to 3 of the measurement data of the above data.