Development of Micro Cilium Actuators in Group

微纤毛执行器的成组开发

• 批准号: 16078206
• 负责人: IWATSUKI Nobuyuki
• 金额: $ 31.1万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2004 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16078206/
• 关键词: 圧電アクチュエータ; マイクロアクチュエータ; マイクロマシン; 知能機械; 運動制御; 群の制御; 共振駆動; 繊毛アクチュエータ群; 水熱合成法; パイプモルフアクチュエータ; 静電植毛法; ニッケルめっき; はんだぬれ性; 繊毛運動; アクチュエータ群; ニッケルメッキ; パルプモルフアクチュエータ; 電極形成

実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.

For practical application, the method of electrostatic hair planting and the method of electric hair planting and the method of electric hair planting and the The main production options for the formation of external electrodes selected by vacuum evaporation method were successfully tested, and the resonant motion of the vacuum evaporation method was successfully applied to the 6mm square micro transfer machine.

项目成果

マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究

微纤毛执行器的研究

• 发表时间: 2008
• 期刊: 文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第5回公開シンポジウム資料
• 作者: 岩附信行;森川広一
• 通讯作者: 森川広一

マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛

微纤毛致动器组的静电植绒

• 发表时间: 2009
• 期刊: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
• 作者: 前田全啓;岩附信行;森川広一
• 通讯作者: 森川広一

マイクロ繊毛アクチュエータ

微纤毛致动器

• 发表时间: 2008
• 期刊: トライボロジスト 53-2
• 作者: M. Sato;Y. Kobayashi;M. Yokoi and T. Moyoshi;岩附信行
• 通讯作者: 岩附信行

Micro Cilium Actuators in Group

微纤毛执行器组

• 发表时间: 2008
• 期刊: The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
• 作者: Nobuyuki Iwatsuki;Koichi Morikawa
• 通讯作者: Koichi Morikawa

マトイクロ繊毛アクチュエータ群の研究

自动纤毛执行器的研究

• 发表时间: 2006
• 期刊: ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究(第3回公開シンポジウム資料)(文部科学省科学研究費補助金特定領域研究)
• 作者: 岩附信行;森川広一
• 通讯作者: 森川広一