Development of Micro Cilium Actuators in Group
Development of Micro Cilium Actuators in Group
批准号:
16078206
负责人:
IWATSUKI Nobuyuki
金额:
$31.1万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
2004
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2004 至 2008
中文摘要
実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.
英文摘要
実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.
期刊论文(104)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
登录
查看更多内容
マイクロ繊毛アクチュエータ群の研究
微纤毛执行器的研究
DOI:
--
发表时间:
2008
期刊:
文部科学省科学研究費補助金特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第5回公開シンポジウム資料
影响因子:
--
作者:
[岩附信行, 森川広一]
通讯作者:
森川広一
マイクロ繊毛アクチュエータ群の静電植毛
微纤毛致动器组的静电植绒
DOI:
--
发表时间:
2009
期刊:
2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
影响因子:
--
作者:
[前田全啓, 岩附信行, 森川広一]
通讯作者:
森川広一
マイクロ繊毛アクチュエータ
微纤毛致动器
DOI:
--
发表时间:
2008
期刊:
トライボロジスト 53-2
影响因子:
--
作者:
[M. Sato, Y. Kobayashi, M. Yokoi and T. Moyoshi, 岩附信行]
通讯作者:
岩附信行
Micro Cilium Actuators in Group
微纤毛执行器组
DOI:
--
发表时间:
2008
期刊:
The 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs
影响因子:
--
作者:
[Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa]
通讯作者:
Koichi Morikawa
マトイクロ繊毛アクチュエータ群の研究
自动纤毛执行器的研究
DOI:
--
发表时间:
2006
期刊:
ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究(第3回公開シンポジウム資料)(文部科学省科学研究費補助金特定領域研究)
影响因子:
--
作者:
[岩附信行, 森川広一]
通讯作者:
森川広一
共 19 条
Motion Control of Hyper Redundant Robots with Learning Control Scheme Based on Linear Combination of Error History
-
批准号:18560243
-
项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额:$2.45万
-
财政年份:2006
-
负责人:IWATSUKI Nobuyuki
-
依托单位:
Synthesis and Control of Hyper Redundant Network-Structure Robot with Elastic Elements
-
批准号:15560215
-
项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额:$2.43万
-
财政年份:2003
-
负责人:IWATSUKI Nobuyuki
-
依托单位:
Development of a Laser Speckle Interferometer to Measure Two-dimensional In-plane Vibration in Real-time Based on Fourier Transform with Electronic Circuit
-
批准号:13555063
-
项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
-
资助金额:$5.89万
-
财政年份:2001
-
负责人:IWATSUKI Nobuyuki
-
依托单位:
Module Base Control of Network-structure Robots with Huge Degree-of-freedom
-
批准号:12650245
-
项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额:$2.3万
-
财政年份:2000
-
负责人:IWATSUKI Nobuyuki
-
依托单位:
Development of Shape-varying Robots with a Network Structure with Huge Degree-of-freedom
-
批准号:09650288
-
项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
-
资助金额:$2.11万
-
财政年份:1997
-
负责人:IWATSUKI Nobuyuki
-
依托单位:
海外基金