Thermomechanisches Verhalten von PACVD-Schutzschichten bei lokaler Temperaturwechselbelastung

MITTELS激光热像仪将通过等离子(Ti，Al)N-Schutzschicht(Ti，Al)N-Schutzschicht auf WC-Co-Hartmetall Characterisiert和Dbebeder Undermaaktivierte Gathasenabscheidung(PACVD)进行热机械加工。这是一项新的技术和技术研究，主要包括以下几个方面的内容：Rasterelektronenmikroskopie and fokussiertem Ionenschnitt detektieraren SchädigungsStufen Vertikalrissbildung，Rissum lenkung，Deliding and Abplatzung bstimt and MIT Hilfe der Bruchmachik.De Ursache Deseser Schädigungen sind laserduzierte Kriechverformungen中的“障碍控制位错塑性”。这是一个错误的过程，也是最重要的一步。在Wurden的Wärmedämm schichten beobachtet Bobachtet Wurden中，我们对SchädigungsStufen Handelt es Sich um Underselle Schädigungsphänoene für Schichtsystem，die z.B.auch进行了分析。麻省理工学院的所有方法都是这样的，它们的特征是：特征、特征、参数、检查和延迟。

Mittels Laser-Thermoschock wird die thermomechanische Belastbarkeit einer durch plasmaaktivierte Gasphasenabscheidung (PACVD) hergestellte (Ti,Al)N-Schutzschicht auf WC-Co-Hartmetall charakterisiert und dabei der unterbrochene trockene Schnitt simuliert. Es werden die kritischen Zyklenzahlen für die mittels Rasterelektronenmikroskopie und fokussiertem Ionenschnitt detektierbaren Schädigungsstufen Vertikalrissbildung, Rissumlenkung, Delamination und Abplatzung bestimmt und mit Hilfe der Bruchmechanik quantitativ analysiert. Die Ursache dieser Schädigungen sind laserinduzierte Kriechverformungen infolge "obstacle-controlled dislocation plasticity". Zur Bestimmung der Kriechparameter aus Substratkrümmungsmessungen ist es erforderlich, das mittels Röntgenverfahren zu messende Eigenspannungsprofil innerhalb der Schicht zu berücksichtigen. Bei den zu analysierenden vier Schädigungsstufen handelt es sich um universelle Schädigungsphänomene für Schichtsysteme, die z.B. auch in Wärmedämmschichten beobachtet wurden. Mit diesen Grundlagenuntersuchungen sollen die Methoden zur Bestimmung wesentlicher Charakterisierungsgrößen, wie Eigenspannungsprofil, Kriechparameter, Festigkeit und Delaminationsbruchzähigkeit für eine Schichtoptimierung bereit gestellt werden.