Thermomechanisches Verhalten von PACVD-Schutzschichten bei lokaler Temperaturwechselbelastung

PACVD保护层在局部温度循环下的热机械行为

基本信息

批准号：
5105946
负责人：
Professor Dr.-Ing. Herbert Balke
金额：
--
依托单位：
Institut für Festkörpermechanik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
1998
资助国家：
德国
起止时间：
1997-12-31 至 2003-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5105946?language=en
关键词：
Thermomechanisches Verhalten von PACVD Schutzschichten

项目摘要

Mittels Laser-Thermoschock wird die thermomechanische Belastbarkeit einer durch plasmaaktivierte Gasphasenabscheidung (PACVD) hergestellte (Ti,Al)N-Schutzschicht auf WC-Co-Hartmetall charakterisiert und dabei der unterbrochene trockene Schnitt simuliert. Es werden die kritischen Zyklenzahlen für die mittels Rasterelektronenmikroskopie und fokussiertem Ionenschnitt detektierbaren Schädigungsstufen Vertikalrissbildung, Rissumlenkung, Delamination und Abplatzung bestimmt und mit Hilfe der Bruchmechanik quantitativ analysiert. Die Ursache dieser Schädigungen sind laserinduzierte Kriechverformungen infolge "obstacle-controlled dislocation plasticity". Zur Bestimmung der Kriechparameter aus Substratkrümmungsmessungen ist es erforderlich, das mittels Röntgenverfahren zu messende Eigenspannungsprofil innerhalb der Schicht zu berücksichtigen. Bei den zu analysierenden vier Schädigungsstufen handelt es sich um universelle Schädigungsphänomene für Schichtsysteme, die z.B. auch in Wärmedämmschichten beobachtet wurden. Mit diesen Grundlagenuntersuchungen sollen die Methoden zur Bestimmung wesentlicher Charakterisierungsgrößen, wie Eigenspannungsprofil, Kriechparameter, Festigkeit und Delaminationsbruchzähigkeit für eine Schichtoptimierung bereit gestellt werden.

Mittels Laser-Thermoschock wild die thermomechanische Belastbarkeit einer durch plasmaaktivierte Gasphasenabscheidung (PACVD) hergestellte (Ti,Al)N-Schutzschicht auf WC-Co-Hartmetall Charakterische und dabei der unterbrochene trockene Schnitt simuliert. Essentially, the death of Zyklenzahlen für die mittels Rasterelektronenmikroskopie und fokussiertem Ionenschnitt detektierbaren Schädigungsstufen Vertikalrissbildung, Rissumlenkung, Delamination und Abplatzung bestimmt und mit Hilfe der Bruchmechanik quantitativ analysiert. Die Ursache DieserSchädigungensind Laserinduzierte Kriechverformungen Infolge“障碍物控制的脱位可塑性”。 Zur Bestimmung der Kriechparameter aussubstratkrümmesmesMessungenist es erforderlich，das mittelsröntgenverfahrenzu Messende eigenspannungspanpannungsprofil Interhalb ininhalb der Schicht Zu分析仪是分析仪是保护世界的唯一方法Schädigungsstuffen，中国和中国世界以及西方国家的世界。 grundlagenuntersunschungs的任意方法是Charakterisierungsgrößen，Greeks和Kriechparameter，French和French以及分层系统的Greeks的最佳方法。 Schichtoptimierung Bereit Gestellt Werden。