室温で高速動作可能なCMOS融合型マルチ単電子メモリ

CMOS集成多单电子存储器,可在室温下高速运行

基本信息

  • 批准号:
    10127205
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.96万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 财政年份:
    1998
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1998 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

本研究では、CMOS融合型マルチ単電子メモリ試作のための基本技術の検討を行った。メモリ試作のための基礎技術として、素子形成のための微細加工技術、薄いゲート絶縁膜形成技術、浮遊ゲート形成技術、浅いソース・ドレイン接合形成技術、ラッチ型センスアンプ技術について検討し、下記の成果を得た。1. 微細加工技術単電子メモリセル用の微細パターンの形成には、EB直接描画とレジストマスクまたは酸化膜ハードマスクのサイドエッチを組み合わせる方法を用いた。シリコンのエッチングには誘導結合型プラズマ(ICP)エッチャーを用い、高異方性と高選択比の両方を同時に実現するエッチング手法を確立した。これにより、ゲート長0.02umの極微細パターンを形成できた。2. 浮遊ゲート形成技術厚さ15nm〜25nmのa-Siを用いて浮遊ゲートを形成することができた。3. 浅いソース・ドレイン接合形成技術結晶欠陥や横方向拡散を抑制するため、低エネルギーイオン打ち込みに代わり、新しく吸着拡散法を開発した。この方法では、拡散する不純物を超高真空CVD装置で1原子層吸着させた後、その吸着層から拡散して浅い接合を形成した。低エネルギーイオン打ち込み法を用いた場合に比べて拡散が抑えられ、極浅接合が形成できた。この技術を使って、ゲート長0.05umのnチャネルMOSトランジスタを試作したところ、低エネルギーイオン打ち込み法で形成したMOSトランジスタより短チャネル効果が小さくなり、横方向の拡散が抑えられることがわかった。4. ラッチ型センスアンプ高速化と高感度化を計るために、SRAMメモリセルにSiGeのDT(Dynamic Threshold)-MOSトランジスタを用いたラッチ型センスアンプの採用を検討した。SiGeのDT-MOSトランジスタを用いると、ボディ端子抵抗を下げるとともに寄生バイポーラトランジスタ効果を増大させ、より大きな駆動電流を実現できる。実際に素子を試作し、良好な特性を得た。
In this paper, we discuss the basic technology of CMOS fusion technology. The basic technology of the test, the micromachining technology of the element formation, the thin film formation technology, the floating film formation technology, the shallow film formation technology, the special film formation technology, and the results of the following research are recorded. 1. Micromachining technology: the formation of fine particles for electron transfer, EB direct drawing, acid transfer, etc. The method of high anisotropy and high selectivity is established. The length of this film is 0.02 um, and the fine particles are formed. 2. Float formation technology thickness of 15nm ~ 25nm a-Si coating 3. The technology of crystal formation and horizontal dispersion suppression was developed. The method comprises the following steps of: forming an atomic layer adsorption layer, forming an adsorption layer diffusion layer and forming a shallow bonding layer of impurities in an ultra-high vacuum CVD device; The low temperature of the liquid is higher than the low temperature of the liquid. This technology makes it possible to form MOS circuits with a length of 0.05 um and a low frequency. 4. High speed and high sensitivity of the high-voltage transistor, SRAM transistor, SiGe transistor, DT(Dynamic Threshold)-MOS transistor, and application of the high-voltage transistor are discussed. The SiGe DT-MOS transistor has a high resistance and high parasitic current. In fact, the element is tested, and the good characteristics are obtained.

项目成果

期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Y.H.Song,M.Koyanagi,et al: "Ultra-Shallow Junction and Deca-Nano Device" Proc.of The 17^<th> Symposium on Materials Science and Eng.Research Center of Ion Beam Technology Hosei University. 7-14 (1998)
Y.H.Song,M.Koyanagi,等:“超浅结和十纳米器件”Proc.of The 17^<th> Symposium on Materials Science and Eng.Research Center of Ion Beam Technology Hosei University.
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
K.S.Kim,M.Koyanagi,et.al: "Ultra-Shallow Junction Formation by Boron Diffusion in UHV-CVD apparatus" Extended Abstracts The Japan Society of Applied Physics and Related Societies. 印刷中. (1999)
K.S.Kim、M.Koyanagi 等人:“UHV-CVD 装置中硼扩散的超浅结形成”扩展摘要日本应用物理学会及相关学会出版(1999 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
M.Koyanagi: "The Sub 0.1 Microns MOSFET's Issues" 28th European Solid-State Device Research Conference. (1998)
M.Koyanagi:“亚 0.1 微米 MOSFET 的问题”第 28 届欧洲固态器件研究会议。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
K.Y.Kim,M.Koyanagi,et.al: "Effect of rapid thermal annealing after N implanting into silicon" Extended Abstracts The Japan Society of Applied Physics and Related Societies. 印刷中. (1999)
K.Y.Kim、M.Koyanagi 等人:“N 注入硅后快速热退火的影响”扩展摘要日本应用物理学会及相关学会出版(1999 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

小柳 光正其他文献

Dynamic Organization Of Chromosomes In Fission Yeast
裂殖酵母中染色体的动态组织
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    永田 崇; 杉原 智博;小柳 光正;寺北 明久;Hiraoka Y.;小坂 成章,山下(川野) 絵美,和田 清二,小柳 光正,寺北 明久;Hiraoka Y.
  • 通讯作者:
    Hiraoka Y.
室温硬化型樹脂による3DIC内の機械応力低減に関する検討
室温固化树脂降低3DIC机械应力的研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    木野 久志;福島 誉史;小柳 光正;田中 徹
  • 通讯作者:
    田中 徹
ハエトリグモの視物質と色覚メカニズムの関連
跳蛛视觉物质与色觉机制的关系
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Fukumura;K.;片岡直行;片岡直行;Takefumi. Morizumi;Takahiro Yamashita;Mitsumasa Koyanagi;寺北明久;Akihisa Terakita;Takeo Horie;Emi Kawano-Yamashita;Masaki Torii;塚本 寿夫;寺北明久;塚本寿夫;酒井佳寿美;木俣直規;藤田彩理;Hisao Tsukamoto;寺北明久;小柳光正;塚本寿夫;山下(川野)絵美;寺北明久;永田 崇;和田精二;神野有香;若桑基博;寺北明久;深田吉孝;永田 崇;寺北明久;寺北明久;永田崇;Akihisa Terakita;木股 直規;永田 崇;塚本 寿夫;寺北 明久;寺北 明久;高野 浩輔;高田 英一郎;小柳 光正;Akihisa Terakita;Emi Kawano-Yamashita;塚本 寿夫;寺北 明久;寺北 明久;永田 崇
  • 通讯作者:
    永田 崇
シリーズ21世紀の動物科学動物の感覚とリズム
系列 21 世纪动物科学 动物感官和节律
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Fukumura;K.;片岡直行;片岡直行;Takefumi. Morizumi;Takahiro Yamashita;Mitsumasa Koyanagi;寺北明久;Akihisa Terakita;Takeo Horie;Emi Kawano-Yamashita;Masaki Torii;塚本 寿夫;寺北明久;塚本寿夫;酒井佳寿美;木俣直規;藤田彩理;Hisao Tsukamoto;寺北明久;小柳光正;塚本寿夫;山下(川野)絵美;寺北明久;永田 崇;和田精二;神野有香;若桑基博;寺北明久;深田吉孝;永田 崇;寺北明久;寺北明久;永田崇;Akihisa Terakita;木股 直規;永田 崇;塚本 寿夫;寺北 明久;寺北 明久;高野 浩輔;高田 英一郎;小柳 光正;Akihisa Terakita;Emi Kawano-Yamashita;塚本 寿夫;寺北 明久;寺北 明久;永田 崇;小柳 光正;高野 浩輔;寺北明久;寺北 明久
  • 通讯作者:
    寺北 明久
動物の双安定型ロドプシンを用いたGPCRシグナル伝達の光操作
使用动物双稳态视紫红质对 GPCR 信号进行光操作
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kaneko Kazuki;Kishita Yusuke;Umeda Yasushi;浅見裕子;小柳 光正
  • 通讯作者:
    小柳 光正

小柳 光正的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('小柳 光正', 18)}}的其他基金

機能未知眼外光受容タンパク質に着目した哺乳類の脳内光受容の解明
阐明哺乳动物大脑中的光感受,重点关注功能未知的眼外光感受器蛋白
  • 批准号:
    23K23926
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Investigation of brain photoreception in mammals based on characterization of non-visual photoreceptor proteins
基于非视觉感光蛋白表征的哺乳动物大脑感光研究
  • 批准号:
    22H02663
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Photoreceptome解析による動物の光受容システムの進化及び多様性の研究
通过感光组分析研究动物感光系统的进化和多样性
  • 批准号:
    18017018
  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
Photoreceptome研究による動物の光受容システムの起源及び多様性の解明
通过感光组研究阐明动物感光系统的起源和多样性
  • 批准号:
    17018024
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
カイメンの光受容蛋白質の機能解析による動物の光受容蛋白質の起源の探求
通过海绵感光蛋白的功能分析探索动物感光蛋白的起源
  • 批准号:
    17770060
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
頭索類ナメクジウオにおける7つのロドプシン類似光受容蛋白質の機能多様性の解明
阐明头索类文昌鱼七种视紫红质样感光蛋白的功能多样性
  • 批准号:
    02J01015
  • 财政年份:
    2002
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
超機能化ヒューマン・インターフェース画像処理・ワイヤレス情報端末チップ創製
超功能人机界面图像处理/无线信息终端芯片打造
  • 批准号:
    13025204
  • 财政年份:
    2001
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
室温で高速動作可能なマルチ単電子メモリ
可在室温下高速运行的多单电子存储器
  • 批准号:
    09233206
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
イメージセンサと液晶表示素子を一体化した即時画像処理システム
集成图像传感器和液晶显示元件的实时图像处理系统
  • 批准号:
    07405051
  • 财政年份:
    1995
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
超高速光バスを有するモンテカルロ解析専用並列処理システムの試作
超高速光纤总线蒙特卡罗分析专用并行处理系统原型
  • 批准号:
    06555103
  • 财政年份:
    1994
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)

相似海外基金

有機金属気相選択成長法によるガリウムヒ素単電子メモリの作製と評価
有机金属气相选择性生长砷化镓单电子存储器的制备与评价
  • 批准号:
    18360142
  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
室温で高速動作可能なマルチ単電子メモリ
可在室温下高速运行的多单电子存储器
  • 批准号:
    09233206
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    $ 0.96万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了