ファンデルワ-ルス界面を利用した単結晶超薄膜の作成とその精密物性の解明
ファンデルワ-ルス界面を利用した単結晶超薄膜の作成とその精密物性の解明
批准号:
63420021
负责人:
小間 篤
金额:
$19.14万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for General Scientific Research (A)
财政年份:
1988
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1988 至 1990
中文摘要
本研究においては、研究代表者らが開発したファンデルワ-ルスエピタキシ-法により、絶縁物から半導体、金属、さらには超伝導金属と多岐に亙る層状物質の単結晶単層膜を自由に積層して、天然界にはまったく存在しない人工物質を創製し、それが示す新しい物性を解明することをその目的としている。本年度においてはまず、昨年度に成功したS原子により表面ダングリングボンドを終端したGaAs基板上への層状物質のファンデルワ-ルス・エピタキシ-をさらに追求し、成長第1層とそれに続く第2層以上の成長とで成長温度を変える。二段階成長法による膜質の著しい改善、SーGaAs基板上へのNbSe_2ーMoSe_2ヘテロ構造成長等に成功した。また本研究経費で購入した超高真空装置を用いて、GaAsのS原子による終端化機構の解明に着手し、S原子が表面のダングリングボンドに直接結合して終端化していること、またSと同族のSeによっても同様に安定な終端化が可能である事を明らかにした。一方NbSe_2膜の成長中のRHEEDパタ-ンの時間変化を、ビデオカメラにおさめ、ファンデルワ-ルス・エピタキシャル成長中の回折点の強度変化を詳しく調べたところ、鏡面反射点の強度が1ユニット層の成長の周期に合わせ、振動する事実が見い出され、1層毎の層成長している事実が明らかになった。さらに高次の回折点では、2ユニット膜成長の周期の振動が発見され、成長膜のポリタイプが2Hタイプである事が明らかになった。RHEED強度振動は、IIIーV族半導体やSi等の薄膜の成長では多くの報告があるが、層状物質の成長ではこれが初めであり、またX線回折等の他の方法では不可能なポリタイプに関する情報が得られた意義は大きい。
英文摘要
本研究においては、研究代表者らが開発したファンデルワ-ルスエピタキシ-法により、絶縁物から半導体、金属、さらには超伝導金属と多岐に亙る層状物質の単結晶単層膜を自由に積層して、天然界にはまったく存在しない人工物質を創製し、それが示す新しい物性を解明することをその目的としている。本年度においてはまず、昨年度に成功したS原子により表面ダングリングボンドを終端したGaAs基板上への層状物質のファンデルワ-ルス・エピタキシ-をさらに追求し、成長第1層とそれに続く第2層以上の成長とで成長温度を変える。二段階成長法による膜質の著しい改善、SーGaAs基板上へのNbSe_2ーMoSe_2ヘテロ構造成長等に成功した。また本研究経費で購入した超高真空装置を用いて、GaAsのS原子による終端化機構の解明に着手し、S原子が表面のダングリングボンドに直接結合して終端化していること、またSと同族のSeによっても同様に安定な終端化が可能である事を明らかにした。一方NbSe_2膜の成長中のRHEEDパタ-ンの時間変化を、ビデオカメラにおさめ、ファンデルワ-ルス・エピタキシャル成長中の回折点の強度変化を詳しく調べたところ、鏡面反射点の強度が1ユニット層の成長の周期に合わせ、振動する事実が見い出され、1層毎の層成長している事実が明らかになった。さらに高次の回折点では、2ユニット膜成長の周期の振動が発見され、成長膜のポリタイプが2Hタイプである事が明らかになった。RHEED強度振動は、IIIーV族半導体やSi等の薄膜の成長では多くの報告があるが、層状物質の成長ではこれが初めであり、またX線回折等の他の方法では不可能なポリタイプに関する情報が得られた意義は大きい。
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A.Koma: Proc.Intern.Conf.Electronic Materials,Tokyo (MRS Proceedings Series).
A.Koma:Proc.Intern.Conf.Electronic Materials,东京(MRS 会议记录系列)。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
H.Oigawa: "Studies on a (NH_4)_2SxーTreated GaAs Surfaces Using AES,LEELS and RHEED" Jpn.J.Appl.Phys. 28. L340-L342 (1989)
H.Oikawa:“使用 AES、LEELS 和 RHEED 对 (NH_4)_2Sx 处理的 GaAs 表面进行研究”Jpn.J.Appl.Phys 28. L340-L342 (1989)
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
K.Saiki: "Application of van der Waals Epifaxy to Highly Heterogenesons Systems" J.Crystal Growth. 95. 603-606 (1989)
K.Saiki:“范德华 Epifaxy 在高度异质系统中的应用”J.Crystal Growth。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
K.Ueno: "Epitaxial Growth of Transition Metal Dichalcogenides on Cleaved Face of Mica" J.Vac.Sci.Technol.A. (1990)
K.Ueno:“过渡金属二硫化物在云母裂面上的外延生长”J.Vac.Sci.Technol.A。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
A.Koma: "Van der Waals Epitaxy" Proc.1st International Conference on Electronic Materials. 105-110 (1989)
A.Koma:“范德华外延”Proc.第一届国际电子材料会议。
DOI:
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发表时间:
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
共 11 条
フラーレンおよびその化合物のヘテロ構造化による新物性の探求
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批准号:11165212
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
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资助金额:$2.37万
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财政年份:1999
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负责人:小間 篤
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依托单位:
ヘテロ素構造の高次組織化による新機能発現
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批准号:07241102
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$65.15万
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财政年份:1995
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负责人:小間 篤
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依托单位:
ファンデアワールス・エピタキシ-法によるフラーレン超薄膜の作製とのその物性の解明
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批准号:06224206
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.09万
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财政年份:1994
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负责人:小間 篤
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依托单位:
原子モアレ変調構造の走査トンネル分光
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批准号:06236204
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.47万
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财政年份:1994
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负责人:小間 篤
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依托单位:
原子モアレ変調構造の走査トンネル分光
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批准号:05245203
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$2.37万
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财政年份:1993
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负责人:小間 篤
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依托单位:
ファンデアワールス相互作用によるヘテロエピタキシャル成長と界面構造の解明
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批准号:05211206
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.98万
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财政年份:1993
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负责人:小間 篤
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依托单位:
ファンデアワールス・エピタキシー法によるフラーレン超薄膜の作製とその物性の解明
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批准号:05233208
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.92万
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财政年份:1993
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负责人:小間 篤
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依托单位:
層状物質を用いた生層-半導体ヘテロ構造の作成とその特性の解明
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批准号:01650511
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.73万
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财政年份:1989
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负责人:小間 篤
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依托单位:
ファンデルワ-ルス・エピタキシ-法による人工準結晶の作成とその物性の解明
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批准号:01630503
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$2.56万
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财政年份:1989
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负责人:小間 篤
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依托单位:
フアン・デルワールスエピタキシー法による人工準結晶の作成とその物性の解明
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批准号:63630503
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
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资助金额:$1.79万
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财政年份:1988
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负责人:小間 篤
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依托单位:
減速グリッド付高分解能単円筒鏡型電子エネルギー分析器の試作研究
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批准号:59850001
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项目类别:Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
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资助金额:$2.94万
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财政年份:1984
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负责人:小間 篤
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依托单位:
層状物質を用いた極薄膜ヘテロ構造の作製と物性測定
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批准号:58209008
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项目类别:Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额:$0.83万
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财政年份:1983
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负责人:小間 篤
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依托单位:
角度分解エネルギー損失分光による固体の電子構造の研究
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批准号:57460051
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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资助金额:$5.18万
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财政年份:1982
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负责人:小間 篤
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依托单位:
層状物質を用いた極薄膜ヘテロ構造の作製と物性測定
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批准号:57217008
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项目类别:Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额:$2.56万
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财政年份:1982
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负责人:小間 篤
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依托单位:
極薄膜金属-半導体構造による励起子超伝導の研究
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批准号:X00080----546046
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
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资助金额:$5.38万
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财政年份:1980
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负责人:小間 篤
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依托单位:
高導電性金属酸化物の研究
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批准号:X00090----455002
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额:$1.54万
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财政年份:1979
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负责人:小間 篤
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依托单位:
固体界面の低速電子分光
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批准号:X00090----255004
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项目类别:Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额:$1.34万
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财政年份:1977
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负责人:小間 篤
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依托单位:
低速電子分光による化合物半導体表面の研究
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批准号:X00040----220312
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项目类别:Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额:$0.96万
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财政年份:1977
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负责人:小間 篤
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依托单位:
低速電子分光による化合物半導体表面の研究
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批准号:X00040----121109
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项目类别:Grant-in-Aid for Special Project Research
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资助金额:$0.64万
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财政年份:1976
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负责人:小間 篤
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依托单位:
海外基金