立方晶炭化ケイ素の電子サイクロトロン共鳴プラズマ酸化によるダイヤモンドの合成

立方碳化硅电子回旋共振等离子体氧化合成金刚石

基本信息

  • 批准号:
    12875119
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.15万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 财政年份:
    2000
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2000 至 2001
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

β-SiCはダイヤモンド構造を有し,電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマを用い,CO-CO_2雰囲気中で酸化することにより,透明なダイヤモンド状の物質が得られることが示唆された.また,O_2およびAr-O_2雰囲気中400〜900Kで顕著な酸化膜の生成を伴う酸化が起こることがわかった.(III)面に強く配向したSiCでは,単結晶SiCと同様,Si面とC面の酸化挙動の違いが認められた.C面の方がSi面よりも酸化速度が大きく,C面では放物線則,Si面では対数則に従って酸化が進行した.Si面上に生成する酸化膜は非晶質のSiO_2であったが,C面上に生成する酸化膜は表面付近では非晶質SiO_2,中心部からSiCとの界面部分では非晶質Si-C-Oであった.SiCはGaNなどと同様,次世代のパワー半導体として期待されており,1000K以下の低温域で良好な酸化膜を表面に形成する方法が求められている.本研究によりCVD SiCがECRプラズマにより効率的に酸化することが初めて示され,SiCの応用の可能性が大きく広がった.また,CVD SiCをAr-O_2中でECRプラズマにより酸化することにより酸化膜(SiO_2)中に数nmの径の結晶質Siが微細に分散することがわかった.このようないわゆるナノコンポジットは新しい発光材料として期待されており,ECRプラズマ酸化が新しい材料合成プロセスとしても有用であることが示された.
β-SiC has the structure of a transparent material, electron resonance (ECR), and CO-CO_2 is an active material. O_2-Ar-O_2-O_2-O_2- (III)The surface alignment of SiC is strong, and the acidification of Si and C surfaces is fast. The acidification of Si and C surfaces is fast. SiC is amorphous Si-C-O at the interface between SiC and GaN. In this study, CVD SiC ECR was used to investigate the effect of acidification on SiC. CVD SiC is a fine dispersion of crystalline Si with a diameter of several nm in an acidified film (SiO_2). The new light-emitting material is expected to be synthesized by ECR.

项目成果

期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
T.Goto: "Effect of oxygen partial pressure on the high-temperature oxidation of CVD SiC"Corrosion Science. 44・202. 359-370 (2001)
T.Goto:“氧分压对 CVD SiC 高温氧化的影响”腐蚀科学 44・202(2001 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Takashi Goto: "Effect of oxygen partial pressure on the high-temperature oxidation of CVD SiC"Corrosion Science. (印刷中). (2001)
Takashi Goto:“氧分压对 CVD SiC 高温氧化的影响”《腐蚀科学》(出版中)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
T.Goto: "Low temperature oxidation of CVD SiC by electron cyclotron resonance plasma"Materials Chemistry and Physics. (印刷中). (2002)
T.Goto:“电子回旋共振等离子体的 CVD SiC 低温氧化”材料化学与物理(出版中)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
Takashi Goto: "High-temperature oxidation of CVD SiC in O_2 and CO_2 atmospheres"Proc.High-temperature Corrosion and Protection 2000. 461-467 (2000)
Takashi Goto:“O_2 和 CO_2 气氛中 CVD SiC 的高温氧化”Proc.高温腐蚀与防护 2000. 461-467 (2000)
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
T.Goto: "High-temperature active/passive oxidation and bubble formation of CVD SiC in O_2 and CO_2 atmosphere"J. European Ceramic Society. (印刷中). (2002)
T.Goto:“O_2 和 CO_2 气氛中 CVD SiC 的高温主动/被动氧化和气泡形成”J 欧洲陶瓷学会(2002 年)。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

後藤 孝其他文献

高速CVDプロセスの開発
高速CVD工艺的开发
  • DOI:
  • 发表时间:
    2004
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T.Narushima;K.Ueda;T.Goto;H.Masumoto;T.Katsube;H.Kawamura;C.Ouchi;Y.Iguchi;R.Tu;H.Miyazaki;H.Masumoto;後藤 孝
  • 通讯作者:
    後藤 孝
「傾斜機能材料の開発と応用」放射冷却材料
《功能梯度材料的开发及应用》辐射冷却材料
  • DOI:
  • 发表时间:
    2003
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    後藤 孝
  • 通讯作者:
    後藤 孝
Influence of deposition angle on the magnetic properties of Sm-Fe-N films fabricated by aerosol deposition method
沉积角度对气溶胶沉积法制备Sm-Fe-N薄膜磁性能的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2006
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    T.Narushima;K.Ueda;T.Goto;H.Masumoto;T.Katsube;H.Kawamura;C.Ouchi;Y.Iguchi;R.Tu;H.Miyazaki;H.Masumoto;後藤 孝;Tomohito Maki
  • 通讯作者:
    Tomohito Maki
レーザーCVDによるRhナノ粒子分散ZrO_2膜の合成
激光CVD法合成纳米Rh颗粒分散ZrO_2薄膜
ECRプラズマMOCVD法による結晶質ジルコニア膜の低温成膜とFGM基板による密着性の向上
使用 ECR 等离子体 MOCVD 方法低温沉积结晶氧化锆薄膜并使用 FGM 基板提高附着力

後藤 孝的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('後藤 孝', 18)}}的其他基金

フッ化物透明セラミックスによる新規レーザー材料の開発
利用氟化物透明陶瓷开发新型激光材料
  • 批准号:
    13F03066
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
レーザー・プラズマハイブリッドCVDによる高配向超電導膜の高速合成
激光等离子体混合CVD快速合成高取向超导薄膜
  • 批准号:
    11F01375
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
新規回転式CVD法による高活性触媒材料の開発
使用新型旋转CVD方法开发高活性催化剂材料
  • 批准号:
    10F00365
  • 财政年份:
    2010
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
高生体適合性ハイドロキシアパタイトコーティング気相プロセスによる組織制御
通过高度生物相容性羟基磷灰石涂层气相工艺进行组织控制
  • 批准号:
    08F08370
  • 财政年份:
    2008
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
亜酸化ケイ素選択放射膜の傾斜機能化による放射冷却特性の高効率化
通过功能梯度低氧化硅选择性辐射膜提高辐射冷却特性的效率
  • 批准号:
    17656208
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
耐熱金属上への貴金属被覆による耐食性向上
通过在耐热金属上涂覆贵金属来提高耐腐蚀性
  • 批准号:
    08225205
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
熱電変換材料としてのホウ化ケイ素/ホウ化チタンナノコンポジットのCVDによる合成
CVD合成硼化硅/硼化钛纳米复合材料作为热电转换材料
  • 批准号:
    01550543
  • 财政年份:
    1989
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
CVD法による超塑性チタン-シリコン-炭素系三元化合物セラミックスの合成
CVD法合成超塑性钛硅碳三元复合陶瓷
  • 批准号:
    62750692
  • 财政年份:
    1987
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
高温強靭性セラミックスの開発
高温韧性陶瓷的研制
  • 批准号:
    60850130
  • 财政年份:
    1985
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
化学気相析出法によるホウ化ケイ素の合成とその高温機能材料への応用
化学气相沉积法合成硼化硅及其在高温功能材料中的应用
  • 批准号:
    60750690
  • 财政年份:
    1985
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)

相似海外基金

Demonstrating ocean acidification-driven changes in the ecological role of benthic macroherbivores in controlling algal habitats
展示海洋酸化驱动的底栖大型食草动物在控制藻类栖息地中的生态作用的变化
  • 批准号:
    23K26924
  • 财政年份:
    2024
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Evaluation of the impact of future ocean acidification on the global carbon cycle
评估未来海洋酸化对全球碳循环的影响
  • 批准号:
    23H01284
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Role of V-ATPase for Regulating Acidification and Survival in Cancer Stem Cells
V-ATP酶在调节癌症干细胞酸化和存活中的作用
  • 批准号:
    23H02749
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Discovery of Novel Inhibitors Targeting trans-Golgi Network Acidification in Pancreatic Cancer
发现针对胰腺癌跨高尔基体网络酸化的新型抑制剂
  • 批准号:
    10563637
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
Demonstrating ocean acidification-driven changes in the ecological role of benthic macroherbivores in controlling algal habitats
展示海洋酸化驱动的底栖大型食草动物在控制藻类栖息地中的生态作用的变化
  • 批准号:
    23H02231
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Collaborative Research: modifiers of ocean acidification effects on top-down control in eelgrass habitat
合作研究:海洋酸化效应的调节剂对鳗草栖息地自上而下控制的影响
  • 批准号:
    2241907
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Ocean acidification and ammonoid extinction at the end of the Cretaceous
白垩纪末海洋酸化和菊石灭绝
  • 批准号:
    22KJ0493
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Drivers of ocean acidification in a temperate urbanized estuary undergoing nutrient loading reductions
温带城市化河口海洋酸化的驱动因素正在减少养分负荷
  • 批准号:
    2241991
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Standard Grant
Quantitative analysis of large benthic foraminifers shells by means of micro X-ray computed tomography to evaluate the effects of ocean acidification.
通过微型 X 射线计算机断层扫描对大型底栖有孔虫壳进行定量分析,以评估海洋酸化的影响。
  • 批准号:
    22KJ3174
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Collaborative Research: modifiers of ocean acidification effects on top-down control in eelgrass habitat
合作研究:海洋酸化效应的调节剂对鳗草栖息地自上而下控制的影响
  • 批准号:
    2241906
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 1.15万
  • 项目类别:
    Standard Grant
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了