Development of an SPM-based micro force sensor and its integration in a flexible micro robot

这顶蒙太奇的帽子和一张纸币的发信人的帽子。从蒙太奇和蒙太奇到汉达邦的感觉都是这样的。德国蒙太奇是一个不受限制的国家：西西里岛和西西里岛的边远地区和边远地区。在Bereich von 0，1微N BIUS 200微N erFasst。Zum Vergleich：Ein Sinheres Greifgefühl MIT einer Uhrmacherpinzette stellt Sich erst be einer Kraft von etwa 50µN bis 100µN ein.Dasübergeordnete Ziel Dieses ForschungsProjektes ist Daher die Entwickump eines HochauflöSenden Mikrokraft Sensors zur GreifkraftMessung and Dessen Integration in Einen Mikromonageroboter.这是一种灵活的远程操作方式，可以通过以下方式进行灵活的操作。这是一种典型的操作方式，需要最大程度的传感器和信号，以实现自动控制。我对设计的要求很高，因为它是一种新的设计方法，在德国和德国都是这样的制度。

Bei der Mikromontage hat der Einsatz verschiedenartiger hochauflösender Sensoren aufgrund der kleinen und empfindlichen Bauteile eine große Bedeutung. Die aktuellen Sensorkonzepte zur Handhabung und Montage kleinster Bauteile verfolgen ausschließlich den Einsatz von visuellen Systemen. Gerade bei der Mikromontage ist aber die Kraft- und taktile Rückkopplung unentbehrlich: Sie ermöglicht erst eine sichere und beschädigungsfreie Handhabung von Mikroobjekten. Dabei müssen sehr geringe Greif- und Kontaktkräfte im Bereich von 0,1 µN bis 200 µN erfasst werden. Zum Vergleich: Ein sicheres Greifgefühl mit einer Uhrmacherpinzette stellt sich erst bei einer Kraft von etwa 50 µN bis 100 µN ein. Das übergeordnete Ziel dieses Forschungsprojektes ist daher die Entwicklung eines hochauflösenden Mikrokraftsensors zur Greifkraftmessung und dessen Integration in einen Mikromontageroboter. Der Sensor soll zum einen ein Hilfsmittel für teleoperierte Handhabungsaufgaben in einer flexiblen Mikromontagestation unter einem Lichtmikroskop oder in einem Rasterelektronenmikroskop zur Verfügung stellen. Zum anderen sollen typische Mikromontageoperationen mit Hilfe der rechnergestützten Sensorsignalverarbeitung weitgehend automatisiert werden. Über die reine Sensorentwicklung hinaus entsteht somit ein Forschungs- und Entwicklungsbedarf im angepassten Design von Mikroendeffektoren, in den Bereichen der Signalvorverarbeitung und ihrer Anbindung an das vorhandene Rechnersystem, der Kraftrückkopplung mittels eines haptischen Eingabegerätes sowie der Greiferregelung.