Laser induced backside etching of dielectrics

激光诱导电介质背面蚀刻

• 批准号: 5343506
• 负责人: Dr.-Ing. Klaus Zimmer
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2004-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5343506?language=en
• 关键词: Laser; induced; backside; etching; dielectrics

Der Einsatz der Lasertechnik für spezifische Mikrostrukturierungsprozesse in der Mikro- bzw. Nanotechnologie birgt eine Reihe von inhärenten Vorteilen gegenüber anderen Ätztechniken (Ionen-, Plasma- und nasschemisches Ätzen) im Sinne der flexiblen Bearbeitung, des berührungslosen Werkzeugeingriffs, der 3D-Formgebung und der hohen Abtragsraten. Im Gegensatz zu Polymeren lassen sich mittels Laser dielektrische Materialien (Quarz, Oxide usw.) gegenwärtig nur mit begrenzter Qualität und geringer Präzision sowie mit hohem technischen Aufwand abtragen. Jüngste Untersuchungen zu dem neuen Verfahren des laserinduzierten Flüssigkeits-Rückseitenätzens belegen die damit erreichbare hohe Präzision der Strukturiering von Dielektrika, die nahezu partikelfrei und bei niedrigen Energiedichten erfolgt. Die laserinduzierten Prozesse und Mechanismen des Materialabtrags im Grenzflächenbereich "transparentes Material - Flüssigkeit" sind noch nicht annähernd geklärt. Ziele des Projektes sind (i) die Aufklärung der wesentlichen Prozesse, die bei der Materialbearbeitung mittels Laserstrahlung an der Grenzfläche Flüssigkeit-Festkörper ablaufen, und (ii) die Anwendung dieser Erkenntnisse zur Optimierung der Bearbeitungsparameter für hochgenaue Strukturierungsaufgaben. Die prozessbestimmenden Parameter der Laserstrukturierung von ausgewählten dielektrischen Materialien werden untersucht und deren Einfluss mit Methoden zur Bestimmung der Oberflächentopographie, der chemischen Zusammensetzung und der Struktur charakterisiert. Da sich für dieses neue Verfahren ein weites Applikationsfeld in der Mikrotechnik prognostizieren lässt, sollen anhand von Demonstratoren die Leistungsfähigkeit und die Verwertungsmöglichkeiten für anwendungsrelevante Fragestellungen verifiziert werden.

Mikro-BZW的主角。纳米技术的主角（ionen-，等离子体 - 纳斯切米奇）是柔性bearbeitung的主角，而3D-Formgebung und und abtragsraten。对多聚合物Lassen无可挑剔。 Mittels Laser Dielektrische Metitalien（USW。 JüngsteUntersuchungen Zu dem neuen verfahren deslaserinduzierinduziertenflüssigkeitsigkeits-rückseitenätenätzensleegen belegen die die dar erreichbarehoheprähepräheprähepräheprähepräheprähepräheprähepräheprähepräheprähedrukturieringvon dielektrika von dielektrika von dielektrika Laserinduzierten Prozesse，模具熊Beitungfestkörper，und（ii）die anwendungfestkörpererkenntnisse Zur Zur Zur Zur optirierung der bearbeitungsparameterfürhochgenaue strukturierungnungsaufgaben。 Die ProzessBestimmenden参数Der Laserstrukturierung vonAusgewähltendielektrischen Miteralien eTriedien werden untersucht untersucht和deren einfluss mit methoden zur bestimmung deroberflächentopographie，deriSchen zusammensemensetzung und der strukemensetzung und der struktur charaktur carakturiserert。 DaSichfür死亡Neue verfahren Ein Weites以Mikrotechnik Prognostizieren的形式应用，该公司正在提供广泛的服务，包括具有示范目的的服务。