Nanometerpräzise Strukturierung von Festkörpern und dünnen Schichten durch laserinduziertes Vorderseitenätzen

通过激光诱导正面蚀刻实现纳米级精确的固体和薄层结构

• 批准号: 136302519
• 负责人: Dr.-Ing. Klaus Zimmer
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/136302519?language=en
• 关键词: Nanometerpr; zise; Strukturierung; von; Festk

Ziel des Vorhabens ist die Untersuchung eines lasergestützten Ätzprozesses zur präzisen Mikrostrukturierung von Festkörpern und Schichten ohne Durchstrahlung des Substrates. Die wesentlichen Zielsetzungen der Grundlagenuntersuchungen umfassen die Ermittlung von Parametereinflüssen auf den Ätzprozess und der erzielbaren Eigenschaften geätzter Festkörper und Schichten, die Bestimmung der abtragsbestimmenden Prozesse des Ätzens, die Messung der Ätzdynamik sowie die Erstellung eines Modells zur Beschreibung des Ätzens. In der anschließenden Phase der Methodenoptimierung werden Fragen des kontinuierlichen Ätzens anwendungsrelevanter Materialien und Schichtsysteme zur nanometertiefengenauen Strukturierung mit einer lateralen Auflösung im Mikrometerbereich adressiert, die für zukünftige Technikanwendungen beispielweise in der Optik von Interesse sind.

西方一直在努力理解这种情况。西方一直在努力理解这种情况。西方一直在努力理解这种情况。西方一直在努力理解这种情况，而迪西（Die West）一直在努力理解。 abtragsbestimmenden prozessedesätzens，die messung derätzdynamiksowie die eerstellung eines modells modells zur beschreibungdesätzens。 In der anschließenden Phase der Methodenoptimierung werden Fragen des kontinuierlichen Ätzens anwendungsrelevanter Materialien und Schichtsysteme zur nanometertiefengenauen Strukturierung mit einer lateralen Auflösung im Mikrometerbereich adressiert, die für The Beginners of the Optik von Interesse信德。

项目成果

Laser-induced front side etching of CaF2 crystals with KrF excimer laser

使用 KrF 准分子激光器对 CaF2 晶体进行激光诱导正面蚀刻

• DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.11.067
• 发表时间: 2013
• 期刊: Applied Surface Science
• 影响因子: 6.7
• 作者: P. Lorenz;M. Ehrhardt;K. Zimmer
• 通讯作者: K. Zimmer

Laser‐induced front side etching of fused silica with KrF excimer laser using thin chromium layers

使用薄铬层利用 KrF 准分子激光器对熔融石英进行激光诱导正面蚀刻

• DOI: 10.1002/pssa.201127672
• 发表时间: 2012
• 期刊: physica status solidi (a)
• 作者: P. Lorenz;M. Ehrhardt;K. Zimmer
• 通讯作者: K. Zimmer

Laser-induced fabrication of randomly distributed nanostructures in fused silica surfaces

熔融石英表面随机分布纳米结构的激光诱导制造

• DOI: 10.1007/s00339-013-7669-4
• 期刊: Applied Physics A
• 作者: P. Lorenz;F. Frost;M. Ehrhardt;K. Zimmer
• 通讯作者: K. Zimmer

Laser-induced front side etching of fused silica with femtosecond laser radiation using thin metal layers

• DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.11.047
• 发表时间: 2013-08
• 期刊: Applied Surface Science
• 影响因子: 6.7
• 作者: P. Lorenz;M. Ehrhardt;K. Zimmer

Laser-induced front side etching of fused silica with XeF excimer laser using thin metal layers

使用 XeF 准分子激光器使用薄金属层对熔融石英进行激光诱导正面蚀刻

• DOI: 10.1016/j.apsusc.2011.10.145
• 发表时间: 2012
• 期刊: Applied Surface Science
• 影响因子: 6.7
• 作者: P. Lorenz;M. Ehrhardt;A. Wehrmann;K. Zimmer
• 通讯作者: K. Zimmer