Ionen- und plasmagestützte Übertragung dreidimensionaler Strukturen im µm- und Sub-µm-Bereich

微米和亚微米范围内三维结构的离子和等离子体辅助转移

• 批准号: 5212710
• 负责人: Dr.-Ing. Klaus Zimmer
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2004-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5212710?language=en
• 关键词: Ionen; und; plasmagest; tzte; bertragung

Ausgehend von den bisherigen Arbeiten und Ergebnissen mit maßgeblich grundlegendem Charakter der Anpassung, Weiterentwicklung und Optimierung der Grautonlithographie und des Proportionaltransfers von 3D-Mikrostrukturen vorzugsweise für die Mikrooptik konzentrieren sich die Aufgaben jetzt auf die Lösung erkannter Verfahrensprobleme, die insbesondere die Präzision und Oberflächenrauigkeit der Grautonlithographie und des Ätzübertrages in optische Materialien betreffen Sie zielen auf die Weiterentwicklung, insbesondere auf die Erhöhung der maximal erreichbaren Profiltiefe der Strukturen und die Verringerung ihrer Rauigkeit, um im optischen Sinne präzise Elemente herstellen zu können und damit den Anwendungsbereich der Verfahren zu erweitern. Dazu sind Untersuchungen zur Grautonlithographie mit den auch bisher verwendeten HEBS-Glas-Masken, aber veränderter Spezifikation (Dicke der strahlungssensitiven Schicht) notwendig. Die Entwicklung derartiger komplexer 3D-Mikrostruktur-Proportionaltransfer-Ätzübertragungsprozesse verbindet aufs Engste die präzise Maskenherstellung (FSU) und den wohldefinierten Übertrag in das optische Zielmaterial (IOM). Weiterhin erfolgt eine enge Zusammenarbeit mit dem TP7 bei der Herstellung und Übertragung von (geprägten) refraktiven und diffraktiven 3D-Mikrooptiken zur Integration in Halbleiterlaser sowie mit Teilprojekt TP3 bei der Übertragung geprägter Polymermikrostrukturen in optische Materialien und der Entwicklung der Replikationsmaster mit Hinterschneidungen.

(3)三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构：三维微结构die insbesonere die Präzision und Oberflächenrauigkeit der grautonlithography and des Ätzübertrages in optische Materialien between Sie zielen auf die Weiterentwicklung, insbesonere auf die Erhöhung der max erreichbaren Profiltiefe der struckturen and die Verringerung irer Rauigkeit, um im optischen Sinne präzise Elemente herstellen zu können and damit den anwendungsereich der Verfahren zu erweiteren。大同市：大同市光刻技术研究中心，德国，德国，德国，德国，德国，德国，德国。Die Entwicklung derartiger komplexer 3d - microstrukturr - proportional transfer-Ätzübertragungsprozesse verindet aufs Engste Die präzise Maskenherstellung (FSU) und den将definierten Übertrag in das optische Zielmaterial （IOM）。weiterin erfolt eine enge Zusammenarbeit mit dem TP7 bei der Herstellung和Übertragung von （geprägten）折射和衍射3d - microoptiken zur集成在halbleter激光sowie mit teilproject TP3 bei der Übertragung geprägter聚合物微结构在optische Materialien和der Entwicklung der Replikationsmaster mit Hinterschneidungen。