Laserätzen von Festkörpern mittels adsorbierter Schichten

点击翻译按钮获取中文摘要

Die präzise Strukturierung von transparenten Materialien wird durch einen neuen lasergestützten Ätzprozess an der Grenzfläche einer am Festkörper adsorbierten Schicht ermöglicht, der sich durch eine niedrige Schwellfluenz, eine geringe und über einen weiten Laserfluenzbereich konstante Ätzrate sowie durch eine hervorragende Qualität der geätzten Oberfläche auszeichnet. Das Vorhaben zielt auf die Ermittlung von Einflussfaktoren und Parametem des Ätzprozesses, der Klärung der wesentlichen Prozesse beim Ätzen und der Optimierung des Ätzprozesses zur Materialbearbeitung ab. Durch die Variation von Bearbeitungsparametem, der Materialien, der Charakterisierung der Eigenschaften des Ätzprozesses und der geätzten Oberfläche sowie durch die Anwendung von in-situ-Analysemethoden werden die Parameterbereiche, die Ätzbedingungen und die Teilprozesse des Materialabtrages erforscht und in einem Modell zusammengefasst. Die ermittelten Zusammenhänge werden zur Optimierung des Ätzabtrags genutzt und die Leistungsfähigkeit der Ätzmethode an Demonstratoren veranschaulicht.