Laserätzen von Festkörpern mittels adsorbierter Schichten

使用吸附层对固体进行激光蚀刻

• 批准号: 5445161
• 负责人: Dr.-Ing. Klaus Zimmer
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2004-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5445161?language=en
• 关键词: Laser; tzen; von; Festk; rpern

Die präzise Strukturierung von transparenten Materialien wird durch einen neuen lasergestützten Ätzprozess an der Grenzfläche einer am Festkörper adsorbierten Schicht ermöglicht, der sich durch eine niedrige Schwellfluenz, eine geringe und über einen weiten Laserfluenzbereich konstante Ätzrate sowie durch eine hervorragende Qualität der geätzten Oberfläche auszeichnet. Das Vorhaben zielt auf die Ermittlung von Einflussfaktoren und Parametem des Ätzprozesses, der Klärung der wesentlichen Prozesse beim Ätzen und der Optimierung des Ätzprozesses zur Materialbearbeitung ab. Durch die Variation von Bearbeitungsparametem, der Materialien, der Charakterisierung der Eigenschaften des Ätzprozesses und der geätzten Oberfläche sowie durch die Anwendung von in-situ-Analysemethoden werden die Parameterbereiche, die Ätzbedingungen und die Teilprozesse des Materialabtrages erforscht und in einem Modell zusammengefasst. Die ermittelten Zusammenhänge werden zur Optimierung des Ätzabtrags genutzt und die Leistungsfähigkeit der Ätzmethode an Demonstratoren veranschaulicht.

透明材料的结构设计是一种新的激光技术，是一种在 Festkörper 吸附剂上的 Grenzfläche 工艺，它是一种新型的材料，是一种新型的材料，是一种新型的材料 激光荧光会影响其上表面质量。 Das Vorhaben zielt auf die Ermittlung von Einflussfaktoren und Parametem des ýtzprozesses, der Klärung der wesentlichen Prozesse beim ätzen und der Optimierung des ätzprozesses zur Materialbearbeitung ab.参数变化、材料特性、工艺特征和技术特征的变化以及参数、工艺和材料工艺中原位分析方法的分析 erforscht 和 in einem Modell zusammengefasts。我们将讨论最优化的属性和演示方法的使用方法。